במחלקת הייצור, סטייה קטנה בטמפרטורה יכולה לפגוע בכל אצווה של שבבים. שיטות הייבוש המסורתיות מציבות אתגרים רבים – לחץ תרמי מצד אחד, וזיהום על ידי חלקיקים מצד שני. בתהליך הליתוגרפיה, אי אפשר להרשות לעצמנו שום סטייה – סטייה של 0.5°C במהלך תהליך העיבוד של הפוטורזיסט עלולה לפגוע בממדים החיוניים של השבב. לכן פיתחנו מקור אור הלוגן באורך גל אינפרא-אדום, שנועד לייבש את השבבים ולחסל את השינויים האלו.
מה חשוב מבחינה טכנית? בתוך המעטפת של הקוורץ ישנה נורה הלוגן בעלת אורך גל קצר, שמפיצה אור אינפרא-אדום במהירות. אנו שומרים על אחידות הטמפרטורה באזור המטרה בטווח של ±0.1°C, ובזכות שליטה אוטומטית, התהליך נשאר עקבי מרוץ לרוץ. המערכת פועלת ללא שום חלקיקים בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והפרופיל התרמי נשאר יציב – כך שהשבב נשאר בתנאים התרמיים הנכונים, והלחות נעלמת ללא פגיעה בשבב.
למה זה עובד בדיוק במקומות החשובים? לאחר ניקוי השבבים, יש צורך בייבוש מהיר, אך ללא פגיעה בשלמות השטח שלהם. נורת ההלוגן מחממת רק את האזור הרצוי, כך שהחדר נשאר קר, והציוד הסובב אינו סובל מהעומס.
כך ניתן להשיג זמני עיבוד מהירים יותר, צריכת אנרגיה נמוכה יותר, וייבוש אחיד ששומר על אחיזת הפוטורזיסט על השבב, גם במהלך העיבודים השונים. כך ניתן לשפר את איכות הייצור, כיוון שטמפרטורת העיבוד היא בדיוק זו שנדרשת לפי ההנחיות.
מה צריך לדעת? התקנת המערכת דורשת התאמה אופטית מדויקת ובקרת מתח מתאימה כדי לשמור על יציבות הספקטרום. רפלקטורים שאינם מתאימים או וולטג’ לא יציב יכולים לגרום לשינויים בטמפרטורה. המקור פועל בעוצמה גבוהה, לכן יש להתחשב בבידוד התרמי ובמערכות הבקרה כחלק מההנחיות של התהליך.
יש לתכנן החלפת הנורה אחרי 5,000 שעות של פעולה, ולעשות זאת במהלך זמני התחזוקה המתוכננים. כך ניתן לשמור על זמן הפעולה של המערכת ולהבטיח את איכות הייצור.