בחדר הייצור, לכל וויפר יש “תקציב תרמי” מסוים, ואי אפשר לעבור אותו. כל שינוי בטמפרטורה, אפילו בשליש ממעלה, עלול לגרום לשינויים ברוחב הקווים על פני הוויפר, לבעיות באיכות המוצר ולירידה בתפוקה. מחירה של מנורת חימום באינפרא-אדום אינו כולל רק את העלות הכספית – הוא כולל גם את העלות של שמירה על יציבות התהליך.
מה חשוב מבחינה טכנית מנורות החימום באינפרא-אדום שלנו מאפשרות שמירה על אחידות תרמית ברמה של פחות ממילימטר אחד על פני כל שטח הוויפר. בתהליכי הייצור, אנו שומרים על שינויי טמפרטורה ברמה של ±0.1°C. ניתן להשיג דיוק זה על ידי התאמת ספקטרום האינפרא-אדום לרמת הספיגה של החומרים המשמשים בתהליך. כך ניתן לחמם את הוויפר במהירות, ללא מגע ישיר, ובקצבים קבועים. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1 עד Class 100, והיא אינה יוצרת שום חלקיקים בזמן פעולתה. האמינות של המערכת כבר הוכחה – המערכות שלנו יכולות לפעול למשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בתפוקה של פחות מ-5%. זה אומר פחות הפסקות בלתי צפויות ופחות צורך בהחלפת המנורות.
למה זה עובד במקומות החשובים בתהליכי ליתוגרפיה, שליטה בטמפרטורה היא גורם חשוב מאוד – היא משפיעה על עובי החומרים המשמשים בתהליך, על יכולת ההידבקות שלהם ועל שליטה ברמת הדיוק של התהליך. שליטה טובה יותר בטמפרטורה מפחיתה את כמות החומרים הבלתי מנוצלים, מגדילה את מהירות הייצור ומפחיתה את הצריכה האנרגטית לכל וויפר. תגובתה המהירה של המנורה לשינויי טמפרטורה מקצרת את זמן ההמתנה בין הסבבים השונים של הייצור, כך שניתן להגדיל את התפוקה מבלי להגדיל את העומס התרמי על החדר.
דברים שצריך לזכור המנורה תפעל בצורה הטובה ביותר כאשר היא מתאימה למתח, לחיבורים ולגאומטריה של הציוד. ההתקנה דורשת התאמה מדויקת של המנורה לציוד, וכן כיול של המכשירים הנוגעים בשליטה בטמפרטורה. בלי זה, יהיו שינויים ברמת האחידות של הטמפרטורה. יש לתכנן זמן התקנה מדויק עם ספק הציוד, כדי להתאים את פרמטרי הייצור ולוודא שמעגלי השליטה בטמפרטורה יפעלו כראוי.