
עצירת הסיוט של פיצוץ הנורות בתהליך ייבוש ה-Wafer ב-MEMS
אם אי פעם עבדתם בסביבת ייצור בעומס גבוה, אתם מכירים את הלחץ שנוצר. אך שום דבר לא יכול להשוות להלם שנגרם כשנורת IR נשברת במהלך תהליך ייבוש ה-Wafer.
זה לא קשור רק לעצירת התהליך – יש גם את ההשלכות. יש שברי קוורץ וחוטי טונגסטן שנופלים על ה-Wafer שלכם. זו קטסטרופה מוחלטת. השקענו הרבה זמן במציאת דרכים למנוע את זה.
יצירת נורות שיחזיקו מעמד
רוב הנורות נשברות בגלל “נקודות חום” או לחץ באזור החיבור. בדרך כלל זה קורה בגלל התרחבות לא אחידה של הזכוכית – הזכוכית לא מסוגלת לעמוד בחום, ולכן היא נשברת.
כדי לפתור בעיה זו, אנו משתמשים בקוורץ מזוקק בעל קירות עבים יותר. אנו גם שמים דגש על מיקום החוטים בתוך הנורה. כך, החום מתפשט באופן אחיד, והזכוכית לא נשברת.
מניעת בלגן
גם עם הבנייה הטובה ביותר, אנו מאמינים בתוכנית חלופית.
אנו מעצבים את החיממים שלנו כך שהם יוכלו להיכנס למעטפות קוורץ מגנות. זה כמו ביטוח – אם הנורה נשברת, המעטפת תמנע מהשברים לפגוע ב-Wafer שלכם.
יש גם את הצד החשמלי – ראינו יותר מדי נורות שנשברו בגלל חיבורים לא טובים. זו דרך לא טובה לכישלון. אנו משתמשים בחיבורים מדויקים כדי למנוע את זה.
הסיכונים בעולם האמיתי
האמת היא שנורות עם הספק גבוה הן קשות לשליטה. הן מספקות את החום הדרוש לייבוש מהיר, אך הן גם יוצרות כמויות אדירות של חום.
אי אפשר פשוט להגדיל את ההספק ולקוות לטוב. צריך מערכת קירור שתוכל לעמוד בעומס. אם האוורור לא טוב, החום יפגע בחיבורים ויקצר את חיי הנורה.
עצתי? עקבו אחר טמפרטורת המעטפת של הנורה. ובקשו מצוות התחזוקה לבדוק את החיבורים כל 500 שעות. זה לוקח דקה, אך זה יכול למנוע כישלון קטסטרופלי.