למה אנו עוברים לשימוש בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום לייצור חומרים מוליכים ללא עופרת
התעשייה פועלת במרץ לקידום סטנדרטים “ירוקים” וללא עופרת. זה נשמע נהדר בתיאוריה, אך בפועל זה מקשה על תהליך הייצור.
במשך זמן רב, עשינו שימוש בתנורים לחימום. הבעיה? בעצם מחממים קופסה ענקית של אוויר. זו בזבוז אנרגיה, ובאמת, זו המרה של סיכון. האוויר החם יכול לגרום להיווצרות של חלקיקים שעלולים להגיע למשטח הוואפרים.
לכן אנו משתמשים בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום. במקום לחמם את האוויר, אנו משתמשים בקרינה אלקטרומגנטית שפוגעת ישירות במשטח הוואפרים. אין צורך באמצעי ביניים, ואין צורך באוויר חם. רק אנרגיה טהורה במקום הנכון.
יצירת המרחק האופטימלי
כשעובדים עם קרינת אינפרא-אדום, המרחק בין המנורה לבין הוואפר הוא קריטי. זו הדרך היחידה לשלוט בטמפרטורה.
קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר טובה מכיוון שהיא חודרת עמוק לשכבת הפוטורזיסט או החומר הדביק, מה שמאפשר חימום מהיר. אך צריך להיות זהירים.
אם המנורה נמצאת קרוב מדי, עלולים להיווצר אזורים חמים מדי, ואפילו הקצוות של הוואפר עלולים להישרף. אם המנורה נמצאת רחוק מדי, צפיפות החום יורדת, וכך זמני העיבוד מתארכים.
אנו משקיעים הרבה זמן בכיול המנורות, בהתאם להספק שלהן ולטמפרטורה הנדרשת לוואפרים. אנו מחפשים את הנקודה האופטימלית שבה החום מתפשט באופן אחיד על כל שטח הוואפר.
פחות בזבוז, יותר מהירות
חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום הוא תהליך “יבש”. אין צורך להתמודד עם נוזלי חימום מסובכים או עם צריכת אנרגיה גבוהה.
היתרון הגדול הוא זמן ההפעלה – המנורות מגיעות לטמפרטורת העבודה תוך מילישניות. אין צורך לחכות שעה שלמה עד שהמכונה תתחמם, כדי שנוכל להתחיל את הייצור. זה פשוט עובד.
החיסרון: ניהול החום
יש כמובן חיסרון: מנורות עם עוצמת קרינה גבוהה פולטות הרבה אנרגיה. בעוד שהוואפר מקבל את מה שהוא צריך, המנורה עצמה ומסגרת המכונה נפגעות.
אי אפשר פשוט להכניס את המנורות למסגרת רגילה ולקוות לטוב. אם מערכת הקירור שלכם אינה טובה, החום שנפלט מהמנורות עלול לפגוע בהן.
הכל תלוי בניהול החום. אם עושים זאת נכון, המנורות יחזיקו מעמד. אם לא, יהיה צורך להחליף אותן לעתים קרובות.