停止浪费能量：为何应选择真空红外加热方式 如果你从事半导体深加工工作，那你肯定花了很多时间等待腔体达到合适的温度。大多数人仍然选择使用热空气循环系统，因为这是行业标准。但问题在于：强制对流的速度很慢。实际上，你只是先加热空气，然后再让这些空气去加热晶圆。在真空中，这种做法纯粹是浪费时间。 因此，我...

在芯片制造过程中减少碳排放：为什么真空红外线加热器是最佳选择？ 如果我们真的想实现碳中和的目标，那就必须停止能源的浪费。传统的电阻式加热方式，其实就像是为了让一个人保持温暖而让整个房子都处于高温状态一样。实际上，我们是在为整个腔室加热，而其中大部分区域根本不需要被加热。 因此，我们转而使用真空环境...