灰化过程加热红外线

在晶圆厂车间，灰化绝非可选步骤——它是去除光刻胶的热处理工序，必须在不影响下层薄膜的前提下完成。如果温度偏移或曲线下陷，就会产生残留物，影响良率，进而影响光刻层叠结构。 关键参数解析 我们采用短波红外技术设计灰化加热器，使用石英卤素灯发射阵列，实现快速且可重复的响应。烘烤区内晶圆温度均匀性保持在...