停止在半导体运输车上浪费热量
在将晶圆搬运到洁净室的过程中，温度至关重要。一旦温度失控，产品的合格率就会下降。就这么简单。
市面上大多数加热器都非常低效——它们向四周散发热量，即360度方向。问题在于，有一半的能量会浪费在运输车的结构上，这无疑是一种能源的浪费。
这就是我们选择使用黄金的原因。
我们在反射层上涂上一层薄薄的黄金，从而改变热量的传播方式。黄金能够有效反射红外线。这样，热量就不会渗入设备外壳并使其变热，而是被反射回晶圆上。这样一来，原本分散的热量就被集中起来，直接作用于需要加热的地方。
最棒的是：因为热量被集中了，所以无需提高功率就能达到所需的温度。你不需要再浪费更多能量，只需巧妙地利用现有的能量即可。此外，你的HVAC系统也会因此受益，因为洁净室不再需要承受过高的热量负荷。
不过有一点需要注意：高密度的红外发射器会变得非常热。如果运输车没有良好的隔热措施，这些热量就会渗透到设备内部。如果不注意材料的选择，甚至可能导致设备框架变形。关键在于找到发射器功率与设备结构之间的最佳平衡点。
至于如何使用这些装置，我们设计时考虑到了方便性——它们可以轻松安装在狭窄的空间里。
最后一点：一定要保持其清洁。黄金对清洁度要求很高。如果化学蒸汽在反射层上形成薄膜，就会降低其反射率。这样一来，加热器就必须更加努力地工作，从而导致灯具更快损坏。只要保持清洁，这些装置就能持续正常工作。