Ngăn chặn hiện tượng bóng đèn nổ trong quá trình sấy các tấm wafer MEMS
Nếu bạn từng làm việc trong môi trường sản xuất với áp lực cao, bạn chắc hẳn hiểu rõ mức độ căng thẳng đó. Nhưng không gì tồi tệ hơn việc bóng đèn IR nổ trong quá trình sấy các tấm wafer MEMS.
Điều tồi tệ không chỉ nằm ở việc dây chuyền sản xuất bị gián đoạn; hậu quả còn nghiêm trọng hơn nữa. Những mảnh thủy tinh và sợi wolfram văng ra có thể phá hủy các tấm wafer của bạn. Đó thực sự là một thảm họa. Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn điều này xảy ra.
Tạo ra những bóng đèn bền bỉ
Hầu hết các bóng đèn nổ do các điểm nóng hoặc áp lực quá lớn tại vị trí kín của bóng đèn. Thông thường, đó là do sự giãn nở không đồng đều của thủy tinh – thủy tinh không thể chịu đựng được nhiệt độ cao, dẫn đến việc bóng đèn nổ.
Để khắc phục vấn đề này, chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao và có thành dày hơn. Chúng tôi cũng chú trọng đến việc định vị chính xác sợi dây tóc bên trong bóng đèn. Bằng cách đảm bảo sự phân bố nhiệt đều khắp chiều dài ống, thủy tinh sẽ không bị hư hỏng dưới áp lực. Như vậy, bóng đèn sẽ hoạt động ổn định.
Ngăn chặn sự lộn xộn
Ngay cả với những bóng đèn được chế tạo tốt nhất, chúng tôi vẫn cần có kế hoạch dự phòng. Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi sao cho chúng có thể được đặt trong những lớp bảo vệ bằng thủy tinh. Đó chính là “bảo hiểm” cho các bóng đèn. Nếu bóng đèn bị hỏng, lớp bảo vệ sẽ ngăn chặn các mảnh vỡ tiếp xúc với các tấm wafer của bạn.
Ngoài ra, chúng tôi cũng chú ý đến yếu tố điện. Chúng tôi đã chứng kiến quá nhiều trường hợp bóng đèn bị nổ do các kết nối lỏng lẻo, gây ra hiện tượng điện弧. Đó là cách hỏng hóc tồi tệ nhất. Chúng tôi sử dụng các công tắc kết nối chính xác để đảm bảo mối kết nối chắc chắn, từ đó ngăn chặn các điểm nóng điện trước khi chúng gây hại.
Những thách thức thực tế
Sự thật là: những bóng đèn có công suất cao thực sự rất nguy hiểm. Chúng mang lại mức nhiệt cần thiết để sấy nhanh các tấm wafer, nhưng chúng cũng tạo ra lượng nhiệt lớn. Bạn không thể chỉ cài đặt chúng ở mức tối đa mà hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Bạn cần một hệ thống làm mát hiệu quả để giải tỏa lượng nhiệt đó. Nếu dòng khí không đủ mạnh, nhiệt độ cao sẽ làm hỏng các bộ phận kín của bóng đèn và rút ngắn tuổi thọ của chúng.
Lời khuyên của tôi là: hãy theo dõi chặt chẽ nhiệt độ của vỏ bóng đèn. Hãy yêu cầu đội ngũ bảo trì kiểm tra độ căng của các đầu nối mỗi 500 giờ một lần. Việc này tốn chút thời gian, nhưng nó sẽ giúp bạn tránh được những hỏng hóc nghiêm trọng.