Trong quy trình nung phim quang học, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 1°C cũng đủ khiến các kích thước quan trọng của wafer bị ảnh hưởng, dẫn đến việc phải vứt bỏ rất nhiều wafer. Các lò nung thông thường chỉ làm nóng toàn bộ buồng lò, chứ không phải chính wafer. Chúng tôi thiết kế hệ thống làm nóng theo từng vùng cụ thể, nhằm đưa nhiệt lượng trực tiếp vào vị trí cần thiết – ngay trên bề mặt wafer – đồng thời vẫn giữ được mức nhiệt phù hợp với yêu cầu của từng loại phim quang học.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Các mô-đun vi sóng được sử dụng trong hệ thống này giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ diện tích wafer. Độ chính xác của nhiệt độ cũng được duy trì ở mức ±0,5°C sau hàng nghìn chu kỳ hoạt động. Các thiết bị phát sóng bước sóng ngắn giúp đạt được nhiệt độ cần thiết nhanh chóng. Thiết kế không sử dụng sợi carbon giúp giảm lượng hạt bụi trong môi trường làm việc – môi trường có mức độ ô nhiễm từ 1–100. Hệ thống hoạt động 24/7, với khả năng bù trừ sự thay đổi nhiệt độ và giúp duy trì độ ổn định của quá trình sản xuất trong hơn 5.000 giờ hoạt động.
Lý do tại sao hệ thống này hiệu quả trong quy trình in ấn
Độ chính xác cao giúp kiểm soát chặt chẽ các kích thước của wafer, từ đó giảm số lần phải làm lại sản phẩm. Đối với việc sấy khô wafer và loại bỏ các vết bẩn ở mép wafer, hệ thống làm nóng có điểm tập trung giúp rút ngắn thời gian bay hơi của dung môi, mà không làm hỏng bề mặt wafer. Nhờ đó, tỷ lệ sản xuất tăng lên, chi phí năng lượng giảm xuống.
Chi tiết kỹ thuật
Hệ thống làm nóng theo từng vùng cần được tích hợp chặt chẽ với các bộ phận liên quan đến quá trình in ấn – các vùng phát nhiệt cần phải hoạt động đồng bộ với chuyển động của bộ phận quay wafer. Việc nâng cấp hệ thống cũng khả thi, nhưng cần kiểm tra kỹ lưỡng các bộ phận cơ khí và hệ thống làm mát của từng thiết bị cụ thể.
Cần lưu ý đến việc lắp đặt hệ thống thông gió phù hợp với môi trường sạch, cũng như hệ thống bảo vệ chống nhiễu điện từ, đặc biệt là gần các thiết bị nhạy cảm với nhiễu điện từ. Kết quả tích cực sẽ xuất hiện ngay khi hệ thống làm nóng không còn là yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm nữa.