Trên khu vực sản xuất, bộ dò được đặt dưới kính hiển vi, chờ được sử dụng để kiểm tra các lô sản phẩm tiếp theo. Nếu nhiệt độ của wafer thay đổi dù chỉ một chút, thì các thông số kỹ thuật liên quan sẽ bị ảnh hưởng, và chất lượng sản phẩm cũng sẽ giảm sút. Chúng tôi thiết kế bộ sưởi này nhằm ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ ngay tại điểm mà bộ dò tiếp xúc với wafer.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình kiểm tra Bộ sưởi này sử dụng các nguyên lý hoạt động dựa trên sóng hồng ngoại ngắn, giúp duy trì nhiệt độ ổn định. Mức độ đồng đều nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Độ tái lặp khi kiểm tra các lô sản phẩm liên tiếp cũng rất cao, vì vòng điều khiển được đặt ngay tại bề mặt wafer, chứ không phải ở thân bộ sưởi. Thiết kế này có thể được tích hợp vào các trạm kiểm tra tiêu chuẩn. Khu vực có nhiệt độ cao được cách ly, nhằm tránh việc các hạt bụi bám vào wafer. Thiết bị này có thể hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, nhờ vào các vật liệu kín và dòng khí được kiểm soát chặt chẽ.
Tại sao bộ sưởi này lại hiệu quả trong quá trình sản xuất? Bộ sưởi này được thiết kế tương tự như các bộ sưởi được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chip quốc tế. Nó đã được kiểm chứng theo cùng các tiêu chuẩn kỹ thuật. Trong các phòng thí nghiệm, bộ sưởi này hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố do sự thay đổi nhiệt độ. Khi kiểm tra chất lượng phimphotoresist, bộ sưởi giúp duy trì nhiệt độ ổn định, nhờ đó việc kiểm soát các kích thước quan trọng của wafer cũng được đảm bảo. Điều này giúp giảm số lần kiểm tra lại, duy trì độ ổn định của các thông số kỹ thuật, và giảm mức tiêu thụ năng lượng.
Một vài lưu ý thực tế Việc lắp đặt bộ sưởi này khá đơn giản. Tuy nhiên, bộ sưởi cần được cung cấp nguồn điện riêng biệt, đã được lọc, nhằm duy trì chất lượng không khí trong phòng sạch ở mức cho phép và ngăn chặn sự suy giảm chất lượng lớp phủ trên wafer theo thời gian. Việc đảm bảo sự tương thích về mặt kỹ thuật giữa bộ sưởi và các bộ phận khác trong hệ thống là rất quan trọng. Khi đã được lắp đặt đúng cách, bộ sưởi có thể hoạt động ngay mà không cần phải điều chỉnh lại quy trình sản xuất.