Trong quy trình sản xuất, chỉ cần một điểm nhiễu nhỏ thôi cũng có thể làm hỏng toàn bộ sản phẩm. Các phương pháp sấy truyền thống gặp nhiều khó khăn: một mặt là áp lực nhiệt, mặt khác là nguy cơ nhiễm bẩn từ các hạt bụi. Trong quy trình in ấn, chúng ta không thể để xảy ra bất kỳ sai số nào; chỉ cần sai lệch 0,5°C trong quá trình xử lý phim huỳnh quang thôi cũng đủ khiến các kích thước quan trọng của sản phẩm bị ảnh hưởng. Chúng tôi đã tạo ra bộ phát tia hồng ngoại halogen dành cho việc sấy wafer, nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến động này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Bên trong vỏ thủy tinh là bóng đèn halogen phát sóng tia hồng ngoại cường độ cao, với khả năng phản ứng nhanh trong vài giây. Hệ thống này giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trong khu vực xử lý ở mức ±0,1°C. Kiểm soát đóng vòng giúp đảm bảo rằng quy trình sấy diễn ra đều đặn từ lần này sang lần khác. Hệ thống hoạt động tốt trong môi trường sạch cấp độ 1–100, và nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ, giúp bảo vệ wafer khỏi tác động tiêu cực của nhiệt độ, đồng thời loại bỏ độ ẩm mà không gây ảnh hưởng đến bề mặt wafer.
Tại sao phương pháp này hiệu quả? Sau khi làm sạch wafer, cần phải sấy nhanh mà không làm ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của bề mặt wafer. Bóng đèn halogen hồng ngoại chỉ làm nóng khu vực cần xử lý, vì vậy buồng sấy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, và các thiết bị xung quanh không bị ảnh hưởng. Nhờ đó, thời gian xử lý được rút ngắn, mức tiêu thụ năng lượng giảm, và quá trình sấy diễn ra đều đặn, giúp đảm bảo khả năng bám dính của phim huỳnh quang trong các bước xử lý tiếp theo. Nhờ vậy, tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn tăng lên, vì nhiệt độ sấy luôn được kiểm soát chặt chẽ theo yêu cầu của quy trình sản xuất.
Những điều bạn cần biết Việc lắp đặt đòi hỏi phải có sự căn chỉnh chính xác về mặt quang học, cùng với hệ thống điều chỉnh điện áp chuyên dụng nhằm duy trì độ ổn định của bước sóng tia hồng ngoại. Nếu các bộ phản xạ không được căn chỉnh đúng cách hoặc điện áp thay đổi, thì nhiệt độ sấy sẽ bị ảnh hưởng. Bóng đèn hoạt động với cường độ cao, vì vậy cần phải chú ý đến việc cách nhiệt và các cơ chế an toàn trong quá trình vận hành. Bạn nên thay thế bóng đèn sau 5.000 giờ hoạt động, và thực hiện việc thay thế này trong khoảng thời gian bảo trì được lên kế hoạch. Đó là cách để đảm bảo hoạt động ổn định của dây chuyền sản xuất.