חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים

בחדר הייצור, שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הוואפרים, וכתוצאה מכך לבזבוז כמות גדולה של ואפרים....