半導体製造用の装置が「オーブン」のようになってしまうのを防ぎましょう。
通常の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。そのような石英ランプを狭い金属製のケースに入れると、莫大なエネルギーがケースの壁面に当たります。これにより、装置の筐体自体が巨大な放熱器のようになってしまいます。外殻が非常に高温になり、作業員が火傷する危険もあります。また、冷却システムも過酷な負担を強いられ、装置が壊れないようにしなければなりません。本当に厄介です。
ここで金コーティングが役立ちます。
私たちは、石英ランプの裏側に薄い金の層を塗ることでこの問題を解決します。金は赤外線を反射するのに優れています。そのため、熱が装置の内部に戻るのを防ぎ、前方に直接反射されます。これにより、ランプは一般的なヒーターのように機能するのではなく、精密な工具として機能します。ウェーハや基板に必要な場所に正確に光が当たります。もう「オーブン効果」によって装置全体が高温になることはありません。
しかし、注意点もあります。エネルギーを一方向に集中させるため、ランプの前面がより高温になります。二方向から熱が逃げることができなくなります。そのため、ランプホルダーがその高い温度に耐えられるかを確認する必要があります。そうでないと、ランプホルダーが溶けてしまう可能性があります。
また、配線についても注意が必要です。高出力の短波ランプは大量の電流を消費します。もし電源がそれに対応できない場合、電圧降下が起こり、装置の動作が遅くなります。これは避けられる問題です。事前に仕様を確認すれば大丈夫です。
さらに、筐体を冷やすことは、人間の皮膚を守るだけでなく、装置自体を保護する効果もあります。筐体の内部が涼しく保たれることで、PCBやセンサーが劣化したり壊れたりすることが少なくなります。つまり、装置の寿命が延びるのです。