なぜ金メッキされた反射板がウェーハにとって重要なのか
ウェーハを乾燥させる際、1ワットたりとも無駄にしてはいけません。エネルギーがただ無駄に消えていくのを見るのは、本当に腹立たしいことです。一般的なアルミニウム製の反射板でも悪くはありませんが、光をあまりにも散乱させてしまいます。まるでレンズが割れた懐中電灯を使っているようなもので、光は本来必要な場所以外に行ってしまいます。
そこで役立つのが金です。
金の「秘密の力」
実は、金は銀やアルミニウムよりも赤外線を扱うのが得意なのです。反射板に薄い金の層を加えることで、熱が機械のケース内部に浸透するのを防ぎます。その結果、熱は直接ウェーハに当たります。これにより、より均一な温度分布が得られ、より短時間で所定の温度に到達できます。まさに効率的で直接的な方法です。
熱の処理
高出力のIRランプは非常に強力です。しかし、その強力さには代償があります。大量の熱が発生するのです。もし高密度のランプを使用する場合、冷却システムがそれに追いつけるかどうかが重要です。もし十分な空気流や放熱機能がなければ、ケースが変形してしまい、高価な金メッキも劣化してしまいます。 **プロのアドバイス：**コントローラーのPID設定を金の放射率に合わせて調整しましょう。そうしないと、目標温度を超えてしまい、装置自体を壊してしまう可能性があります。
実際の現場での活用
これらの反射板をデジタルIR乾燥コントローラーに接続すれば、操作がずっと簡単になります。SCRやPWMコントローラーに接続するだけで、すべてが安定します。 最良の点は、乾燥エリアを縮小できることです。金の効率が高いため、目標の表面温度を得るために必要なランプの数を減らすことができます。 確かに、初期投資は高くなります。金は安くありません。しかし、低い電気代や短縮された処理時間によって、そのコストを回収できます。また、300mmウェーハを扱っていて、低温部分が許されない場合、これが唯一、均一性を実現する方法です。