高温環境下でウェーハを清潔に保つ方法
大量生産ラインを運用している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。ランプが壊れてしまうと、クォーツの破片や蒸発したタングステンがウェーハに降り注ぎます。これは単なる停止時間の問題ではなく、一括での製品損傷という大災害につながります。
だからこそ、私たちは金反射体付きのIRランプをこのように設計するのです。災害が起こる前にそれを防ぎたいのです。
熱に対処する方法
ほとんどのランプは、熱衝撃や局部的な過剰な熱によって壊れてしまいます。これに対処するために、私たちは高純度の融結クォーツを使用します。これにより、室温から最高温度までの急激な温度変化にも耐えられます。
そして、その金反射体は、ランプの効率を高めるだけでなく、IR放射線を上方に向ける役割も果たし、不必要な場所に熱が行かないようにします。
ちょっとしたヒント：電源装置にも注意しましょう。電圧はランプの仕様にぴったり合っている必要があります。温度を早く上げるために過剰な電圧をかけたくなりますが、絶対にやってはいけません。そうするとフィラメントが壊れ、ランプが故障してしまいます。
粒子の発生を防ぐ方法
汚染の問題は、シールやコーティングにかかっています。金層は真空蒸着法で形成されているため、高温になっても剥がれ落ちません。もしそのコーティングが剥がれてしまうと、粒子がウェーハに付着してしまいます。良くありません。
しかし、現実を言えば、完璧に壊れないランプなんてありません。だからこそ、保護用のクォーツスリーブや遮蔽板を使用することをお勧めします。これは一種の保険のようなものです。もしランプが壊れても、遮蔽板が破片を閉じ込めて、ウェーハに付着しないようにしてくれます。
覚えておくべきこと
金反射体はIR反射率において最適ですが、柔らかいものです。アルミニウムよりもずっと柔らかいのです。
どうか、チームメンバーに「研磨剤を使わないように」と伝えてください。研磨剤を使うと、金が傷つき、熱バランスが崩れ、ランプが早期に故障してしまいます。圧縮空気や専用の溶剤を使いましょう。
また、メンテナンスを行う人は手袋を着用するようにしましょう。皮脂は無害に思えますが、クォーツに悪影響を与え、ストレスポイントを作ってしまいます。小さなことかもしれませんが、ランプの寿命に大きな影響を与えます。