真空対応の赤外線ヒーター

真空状態での加熱をやめよう：なぜ真空IRが最適なのか 半導体の高度な加工を行っている人なら、チャンバーの温度が適切になるのを待つために、長い時間を費やしてきたことでしょう。多くの人々は、標準的な方法として熱風循環方式を利用しています。しかし問題は、強制対流方式では速度が遅いという点です。つまり、ま...