MEMS传感器晶圆干燥加热器

杜绝MEMS晶圆干燥过程中灯管爆炸的噩梦 如果你曾在高负荷的生产环境中工作过，那就知道那种压力有多大。不过，最可怕的情况还是当IR灯管在MEMS晶圆干燥过程中突然爆炸时。这不仅仅是生产线停止运行的问题，更糟糕的是，石英碎片和钨丝会掉落在晶圆上，造成彻底的灾难。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况...