更好的半导体清洗方法
说实话，半导体制造过程中的清洗阶段往往是最浪费能源的环节。多年来，人们一直依赖热水浴或对流加热器来加温，但这种方式极其浪费资源。为了给晶圆加热，人们不得不耗费大量金钱来加热空气和大量的水。
因此，我们开始使用防水型红外线灯。这类灯具不会让整个房间都变热，而是将热量直接集中在晶圆表面。
应对恶劣环境的问题
清洗环境十分恶劣：水和电无法共存，如果有一滴水接触到电极，灯光就会损坏。为了避免这种情况，我们使用了特殊的石英外壳以及密封的端盖，这样就能防止湿气进入，从而延长设备的使用寿命。我们选择使用短波红外线，因为它能让热量深入到基材内部，从而更快地干燥晶圆。这样一来，就可以缩小设备的尺寸，减少所需的空间。
减少碳排放及成本
如果你想打造“绿色工厂”，就必须考虑如何降低能耗。传统的蒸汽加热方式效率极低，需要持续运行大型锅炉，从而产生大量碳排放。而使用红外线加热则可以完全控制加热过程——你可以随时启动或停止加热， thereby避免能量浪费。
现实中的权衡
不过，这并非完美无缺的解决方案。高功率的灯具虽然能带来高效的加热效果，但也会给电力系统带来负担。你必须确保电路能够承受峰值电流，否则就会出现电压下降的问题。
还有一个实用的建议：保持反射器的清洁。如果反射器上积攒了化学物质，其效率会降低15-20%。这时，灯具就需要更加努力地工作，从而导致其寿命缩短。定期清洁反射器非常重要。
最棒的是，这些灯具可以直接替代那些旧式的加热装置。你只需更换硬件，再将其连接到PID控制器上，就能有效降低每块晶圆所需的能耗。