Làm thế nào để ngăn chặn sự hình thành các mảnh vụn trên wafer: Cách chúng tôi xử lý quá trình làm khô wafer
Khi làm việc trong phòng sạch cấp độ 100, không thể chấp nhận việc có “chỉ một ít bụi” thôi. Chỉ cần một mảnh vụn nhỏ hoặc một lượng khí thải từ các linh kiện gia nhiệt giá rẻ cũng đủ khiến toàn bộ lô wafer trở nên vô dụng. Đó quả là một cơn ác mộng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không sử dụng các vật liệu thông thường. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn và bộ phản xạ ánh sáng dùng trong quá trình làm khô wafer.
Bí quyết nằm ở chất silica.
Hầu hết các bóng đèn thông thường sử dụng thạch anh thông thường, nhưng chúng tôi loại bỏ hết các tạp chất để ngăn chặn sự di chuyển của các ion kim loại. Nếu bạn từng thấy bóng đèn “phát khói” trong quá trình hoạt động ở nhiệt độ cao, bạn sẽ hiểu rõ điều chúng tôi đang cố gắng tránh. Chúng tôi đóng kín các ống thạch anh để ngăn khí halogen lọt vào khu vực làm việc. Nhờ vậy, môi trường làm việc luôn được duy trì ở trạng thái sạch sẽ.
Còn về bộ phản xạ ánh sáng… Một bóng đèn sẽ trở nên vô dụng nếu bộ phản xạ ánh sáng kém chất lượng. Chúng tôi thiết kế bộ phản xạ ánh sáng sao cho ánh sáng hồng ngoại được chiếu trực tiếp lên wafer. Nhờ vậy, năng lượng được tập trung tại điểm cần thiết, và các bộ phận khác của máy móc sẽ không bị ảnh hưởng bởi lượng nhiệt dư thừa. Các bộ phận kín khí và giá đỡ của máy móc cũng sẽ giữ được nhiệt độ ổn định, giúp bạn có thể tăng công suất bóng đèn mà không lo gây hư hại cho các bộ phận khác.
Tuy nhiên, cần lưu ý một điều: Những bóng đèn này hoạt động ở nhiệt độ rất cao. Chúng giúp quá trình làm khô wafer diễn ra nhanh chóng, nhưng nếu bạn không chú ý, chúng sẽ phá hủy hệ thống làm mát của máy móc. Nếu dòng khí lưu thông không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt tỏa ra, các sợi dây tóc trong bóng đèn sẽ bị cháy nhanh chóng. Hãy tuân thủ chương trình làm mát nghiêm ngặt. Bạn sẽ được báo đáp bằng việc tiết kiệm chi phí.
Chúng tôi chế tạo những bóng đèn này như những phụ kiện thay thế đơn giản cho các thiết bị bán dẫn của bạn. Không cần phải nói nhiều, chỉ cần sử dụng những vật liệu chất lượng cao để giữ cho wafer luôn sạch sẽ.