Trong quy trình sản xuất, mỗi wafer đều có giới hạn nhiệt độ nhất định; bạn không được vượt qua giới hạn này. Ngay cả sự chênh lệch nhiệt độ trong một khoảng rất nhỏ cũng có thể gây ra những vấn đề như sự biến đổi kích thước các đường nét trên wafer, sự hình thành các khối bẩn trên bề mặt wafer, và giảm tỷ lệ sản phẩm tốt. Giá của bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại không chỉ là số tiền bạn phải trả theo hóa đơn mua hàng; đó còn là chi phí để đảm bảo sự ổn định trong quy trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Các bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại của chúng tôi giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức dưới một milimét trên toàn bộ bề mặt wafer. Trong quy trình sản xuất, chúng tôi duy trì sự biến đổi nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Độ chính xác này được đạt được nhờ việc điều chỉnh bước sóng tia hồng ngoại sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của chất phủ trên wafer. Nhờ đó, việc sưởi ấm diễn ra nhanh chóng, không cần tiếp xúc trực tiếp, và tốc độ sưởi ấm có thể được kiểm soát chính xác. Hệ thống này được thiết kế để sử dụng trong môi trường phòng sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100; đồng thời, hệ thống này không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động. Độ tin cậy của hệ thống được chứng minh qua việc sử dụng liên tục trong hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ sản phẩm tốt vẫn ở mức dưới 5%, điều này giúp giảm số lần dừng máy và thay thế bóng đèn.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong những tình huống quan trọng Trong các bước xử lý wafer như lắng đọng chất phủ hoặc sưởi ấm wafer, việc kiểm soát nhiệt độ là yếu tố quan trọng ảnh hưởng trực tiếp đến độ dày của chất phủ, khả năng bám dính của chất phủ, và độ chính xác kích thước wafer. Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng, rút ngắn thời gian xử lý, và giảm mức tiêu thụ năng lượng trên mỗi wafer. Phản ứng nhiệt nhanh của bóng đèn cũng giúp giảm thời gian chờ giữa các lô sản xuất, từ đó tăng năng suất mà không làm tăng gánh nặng nhiệt lên buồng xử lý.
Những điều cần lưu ý Bóng đèn sẽ hoạt động tốt nhất khi nó phù hợp với điện áp, kết nối, và cấu trúc của thiết bị sử dụng. Việc lắp đặt đòi hỏi phải có sự căn chỉnh quang học chính xác và điều chỉnh máy đo nhiệt độ sao cho phù hợp với vùng được sưởi ấm. Nếu bỏ qua bước này, sai số nhiệt độ sẽ xuất hiện. Bạn nên lập kế hoạch tích hợp hệ thống với nhà cung cấp thiết bị một cách cẩn thận để có thể điều chỉnh các thông số xử lý và đảm bảo sự ổn định về nhiệt độ.