Hentikan Penggunaan Pemanas Udara: Cara Lebih Efisien untuk Memproses Wafer
Jika kita benar-benar ingin mencapai sasaran neutraliti karbon di fasiliti pengeluaran ini, kita perlu berhenti bergantung pada oven konvensional yang memakan banyak tenaga. Sebaliknya, kita harus beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan gelombang inframerah yang lebih tepat.
Idea yang digunakan sangat mudah: mengapa perlu memanaskan seluruh ruang vakum atau udara di sekeliling wafer, sedangkan yang diperlukan hanyalah pemanasan pada permukaan wafer itu sendiri? Kita gunakan sensor dan lampu inframerah untuk mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya. Dengan cara ini, tidak ada lagi pembaziran tenaga pada kawasan yang tidak diperlukan.
Bagaimana ia berfungsi
Pemanasan konvensional bergantung pada proses konveksi. Proses ini lambat, kurang efisien, dan memerlukan banyak tenaga. Sebaliknya, gelombang inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menghantar tenaga. Dengan menyelaraskan pancaran cahaya dari lampu dengan apa yang diserap oleh silikon, haba akan sampai terus ke permukaan wafer. Proses ini sangat cepat. Selain itu, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer juga menjadi lebih singkat, sehingga penggunaan tenaga untuk setiap wafer dapat dikurangkan secara signifikan.
Mengawal suhu dengan baik
Kita tidak boleh hanya membiarkan haba tersebar tanpa kawalan. Kita perlu mengawal suhu dengan teliti. Kami menggunakan sensor inframerah berkelajuan tinggi yang memantau permukaan wafer secara masa nyata. Sensor-sensor ini bekerjasama dengan sistem PID untuk menyesuaikan kuasa lampu secara automatik. Jika ada kawasan yang terlalu panas, sistem akan segera mengurangkan kuasa lampu tersebut. Dengan cara ini, wafer dapat diselamatkan daripada rosak, dan bil tenaga juga dapat dikurangkan.
Kelemahannya
Masalahnya ialah apabila kita beralih ke lampu inframerah berkepadatan tinggi, ia akan memberi tekanan haba yang besar pada komponen mesin. Ya, wafer akan menjadi panas dengan cepat, tetapi komponen lain juga akan terjejas. Kita perlu memastikan sistem penyejukan cukup kuat untuk menangani haba yang dihasilkan. Jika sistem penyejukan lemah, kita akan kehilangan manfaat penjimatan tenaga dan mesin akan rosak.
Apa maksudnya bagi operasi pengeluaran
Dengan menggantikan sistem pemanasan lama dengan sistem inframerah, proses pengeringan dan pemanasan wafer menjadi lebih efisien. Bagi banyak lini pengeluaran lama, perubahan ini merupakan langkah yang mudah dilakukan. Kami mendapati bahawa semakin baik kualiti sensor inframerah, semakin rendah penggunaan tenaga. Ini merupakan situasi yang menguntungkan – kurang pembaziran, lebih sedikit wafer yang rosak, dan jejak karbon yang lebih rendah.