Di atas lantai pengeluaran yang canggih ini, kad penjujuk berada di bawah alat pemeriksaan, menunggu giliran untuk digunakan. Jika suhu wafer berubah walaupun sedikit sekalipun, parameter yang digunakan akan terjejas, dan kualiti hasil pengeluaran akan merosot. Kami mencipta pemanas khas untuk wafer ini agar perubahan suhu dapat dikawal pada titik di mana penjujuk bersentuhan dengan wafer tersebut.
Apa yang benar-benar penting semasa ujian
Alat ini menggunakan unsur inframerah gelombang pendek untuk menghasilkan haba, dan ia direka untuk memberikan tindak balas yang cepat serta meminimumkan inersia termal. Kekonsistenan suhu wafer kekal dalam lingkungan ±0.1°C, dan ketepatan pengulangan proses pengeluaran juga tetap tinggi kerana sistem kawalan berada di lokasi yang betul, iaitu pada permukaan wafer itu sendiri. Reka bentuknya sesuai untuk digunakan dalam stesen penjujuk biasa, dan kawasan panasnya dipisahkan supaya pergerakan mekanikal tidak menyebabkan habuk terbentuk. Alat ini boleh digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana bahan-bahannya disegel rapi dan aliran udara dikawal agar tidak masuk ke dalam persekitaran ujian.
Mengapa alat ini efektif dalam pengeluaran
Pemanas ini direka sebagai modul terma yang setara dengan peralatan semikonduktor antarabangsa, dan ia telah diuji mengikut kriteria yang sama. Dalam ujian kelayakan, alat ini berfungsi 24/7 tanpa sebarang gangguan akibat perubahan suhu. Semasa memeriksa bahan fotoresist, alat ini memastikan suhu yang digunakan tetap stabil, sehingga kawalan dimensi penting dapat dilakukan dengan baik. Kelebihannya ialah penggunaan tenaga yang lebih rendah, kerana kitaran pemanasan yang diperlukan lebih singkat.
Beberapa nota praktikal
Pemasangan alat ini mudah, namun pemanas ini memerlukan sumber kuasa yang khusus dan dirawat agar kualiti udara di bilik bersih tetap terjaga. Antaramuka mekanikal dan pin konektor perlu disesuaikan dengan stesen yang digunakan agar alat ini dapat digunakan dengan mudah. Setelah disambungkan, alat ini boleh digunakan sebagai pengganti langsung—tanpa perlu mengubah prosedur pengeluaran yang ada.