בשלב הליתוגרפיה, שגיאות בטמפרטורה של המערכת PEB עלולות לגרום לשינויים ברוחב הקווים על הוואפר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. שונות של 1°C בין חלקי הוואפר יכולה לגרום לחריגות בפרופילי הפוטורזיסט, דבר שעלול לגרום לבזבוז שעות עבודה רבות. יצרנו את מערכות החימום PEB כדי לשמור על הטמפרטורה בתוך הטווח הרצוי, בכל סדרת ייצור.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים ברכיבי הלוגן באור אינפרא-אדום בתדר נמוך, הממוקמים מאחורי חלון קוורץ, כדי לאפשר חימום מהיר ויעיל. שונות הטמפרטורה על הוואפר נשארת בטווח של ±0.1°C, והדיוק בשליטה בטמפרטורה הוא ברמת מילישניות. כך, אותו פרופיל תרמי נשמר בכל סדרת ייצור. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, עם חומרים שאינם פולטים גזים ועם שליטה ברמת החלקיקים. אין ייצור של חלקיקים במהלך החימום – דבר זה מוודא על ידי מעקב אחר החלקיקים בזמן אמת, ישירות במקום העיבוד.
למה זה חשוב בעיבוד פוטורזיסט? שלב PEB נמצא בין שלב החשיפה לשלב הפיתוח. זהו השלב שבו מתבצעת ההגדלה הכימית של התמונה, ובו נקבע רוחב הקווים. מערכות החימום שלנו מאפשרות שליטה קפדנית בטמפרטורה, מה שמפחית את השונות ברוחב הקווים ואת הצורך בעבודה נוספת. אותה מערכת יכולה לשמש גם לחימום רגיל וגם לחימום אינטנסיבי, והיא מאפשרת שליטה בקצב החימום. מכיוון שאור אינפרא-אדום מחמם את הוואפר ישירות, צריכת האנרגיה פוחתת.
כמה הערות פרקטיות: ההתקנה דורשת התאמה בין גודל התא לבין ממשק הכלים. לפני ההתקנה, יש לוודא את המבנה המכני, צינורות הקירור והחיבורים החשמליים. אור אינפרא-אדום מאפשר תגובה מהירה, אך יש לשמור על רמת ההתאמה האופטית ועל ניקיון החלון, כדי לשמור על שונות טמפרטורה נמוכה. יש לבצע בדיקות תקופתיות של החלון והנורות, כדי שהפרופיל התרמי יישמר לאורך זמן.