על רצפת המפעל, תהליך האשטינג אינו אפשרות—זהו השלב התרמי שמסיר את הפוטורזיסט באופן נקי, מבלי לפגוע בשכבות שמתחתיו. אם הטמפרטורה סטתה או הפרופיל ירד, מתקבלים שאריות. תפוקת הקווים נפגעת, ומערך הליתוגרפיה משלם את המחיר.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
בנינו את גוף החימום של האשטינג סביב אינפרא-אדום קצר גל, באמצעות מערך פליטת קווארץ-הלוגן שמגיב במהירות ובאופן חוזר. התוצאה היא אחידות בטמפ’ ברמת הוויפר בתוך ±0.1°C באזור האפייה, ושליטה בטמפרטורה ששומרת על ערך הסטה לאורך כל מחזור ההסרה. המערכת פועלת בחדרי נקיון Class 1–100 ללא יצירת חלקיקים, מאומתת באמצעות ניטור in-situ. היא מספקת יציבות ביציאה למשך יותר מ-5,000 שעות, עם סטייה בעוצמה של פחות מ-5%.
מדוע זה מתאים לזרימה
בתהליך עיבוד הפוטורזיסט — אפיית ריכוך, חשיפה, הפיתוח, אפיית הקשחה ואז האשטינג — טמפרטורה חוזרת היא תקציב חום קריטי. חימום ה-IR שלנו מעלה את הטמפרטורה מהר, מקרר מהר ושומר על פרופיל זהה בכל הרצה. פחות סבבי תיקון, פחות פסולת וזמן מחזור שניתן לסמוך עליו. צריכת האנרגיה יורדת כי כוח הפליטה מותאם לעומס בפועל ולא למקרה הגרוע ביותר. המודול משתלב במסילות ובכלי הסטריפ הקיימים עם ממשקים מכניים וחשמליים סטנדרטיים.
הפרטים המעשיים
האשטינג באינפרא-אדום מספק חום נקי ומבוקרת, אך האופטיקה וחלון הפליטה דורשים טיפול קפדני בחדר הנקיון. יש לתכנן יישור מהיר ומיפוי תרמי מיד לאחר ההתקנה, ולהכניס בדיקות רבעוניות של החלון ללוח הזמנים כדי לשמור על רמות חלקיקים תקינות. עם משמעת זו, התהליך נשאר בתוך המפרט והקו ממשיך לפעול.