متوقف کردن تولید ذرات گرد و غبار: چگونه فرآیند خشک کردن ویفرها را انجام میدهیم
وقتی در یک اتاق پاکسازی درجه ۱۰۰ کار میکنید، هیچ چیزی به نام «مقدار کمی گرد و غبار» وجود ندارد. حتی یک ذره کوچک گرد و غبار یا انتشار گازات ناشی از عناصر گرمایشی ارزانقیمت، میتواند باعث از بین رفتن کل محموله سیلیکون شود. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
به همین دلیل، ما از مواد استاندارد استفاده نمیکنیم. ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای ساخت لامپهای خشک کننده IR استفاده میکنیم.
راز، در سیلیکا نهفته است.
اکثر لامپها از کوارتز ساده استفاده میکنند، اما ما ناخالصیهای آن را از بین میبریم تا جلوی حرکت یونهای فلزی را بگیریم. اگر تا به حال دیده باشید که لامپ در حین کار یا در دماهای بالا دود تولید میکند، دقیقاً میدانید که ما از چه چیزی اجتناب میکنیم. ما لولههای کوارتزی را به خوبی مهر و موم میکنیم تا هیچ گاز هالوژنی وارد فضای کاری شما نشود؛ در نتیجه، فضای کاری شما تمیز باقی میماند.
همچنین، بازتابنده نیز اهمیت زیادی دارد. اگر بازتابنده لامپ مناسب نباشد، لامپ بیفایده خواهد بود. ما بازتابندههای لامپهایمان را طوری طراحی میکنیم که امواج مادون قرمز را دقیقاً به جایی که لازم است، یعنی روی ویفر، هدایت کند. از آنجایی که انرژی در این حالت بسیار متمرکز است، بقیه قطعات دستگاه نیازی به جذب این حرارت اضافی نخواهند داشت. در نتیجه، قطعات دستگاه سرد باقی میمانند؛ این امر به شما این امکان را میدهد که توان لامپ را افزایش دهید، بدون اینکه نگران ذوب شدن قطعات دستگاه باشید.
حالا، یک هشدار:
این لامپها بسیار داغ میشوند. واقعاً بسیار داغ!
آنها به شما امکان افزایش سریع دما را میدهند، اما اگر مراقب نباشید، سیستم خنککننده دستگاه شما خراب خواهد شد. اگر جریان هوای دستگاه برای تحمل کل توان لامپ کافی نباشد، فیلامنتهای لامپ خیلی سریع خواهند سوخت. حتماً به برنامههای خنککننده دستگاه خود پایبند باشید؛ در غیر این صورت، پول شما نیز از بین خواهد رفت.
ما این لامپها را به عنوان جایگزینهای ساده برای ابزارهای نیمههادی شما طراحی کردهایم. هیچ چیز پیچیدهای وجود ندارد؛ فقط مواد با کیفیت بالا که باعث میشوند ویفرهای شما تمیز باقی بمانند.