در کارخانههای تولید، حتی وجود یک نقص کوچک میتواند باعث از بین رفتن کل محموله تولید شده شود. روشهای سنتی خشککردن، ریسکهای زیادی دارند؛ از یک سو فشار حرارتی وجود دارد و از سوی دیگر، خطر آلودگی توسط ذرات مختلف. در فرآیند لیتوگرافی نیز، هیچ خطاایی مجاز نیست؛ حتی تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دما، میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم قطعات شود. ما فرستنده مادون قرمز هالوژنی را برای خشککردن ویفرها طراحی کردهایم تا این نوسانات را از بین ببریم.
موارد مهم از نظر فنی:
درون پوشش کوارتزی، یک لامپ هالوژنی با امواج كوتاه وجود دارد که نور مادون قرمز را به سرعت منتشر میکند. ما دمای ناحیه مورد نظر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم؛ همچنین، سیستم کنترل بسته، باعث میشود که فرآیند خشککردن هر بار یکسان باشد. این سیستم در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱ تا ۱۰۰، بدون هیچ ذره آلایندهای کار میکند؛ همچنین، پروفایل حرارتی نیز ثابت باقی میماند و از بودجه حرارتی ویفر حفاظت میشود، در حالی که رطوبت نیز از بین میرود.
چرا این روش مؤثر است؟
پس از تمیز کردن ویفر، نیاز به خشککردن سریع وجود دارد، اما نباید به سلامت سطح ویفر آسیبی وارد شود. لامپ هالوژنی مادون قرمز، تنها ناحیه مورد نظر را گرم میکند؛ بنابراین، محیط اطراف خنک باقی میماند و سایر تجهیزات تحت فشار قرار نمیگیرند. این روش باعث کاهش زمان فرآیند، کاهش مصرف انرژی و خشککردن یکنواخت ویفر میشود؛ همچنین، دمای مناسب برای خشککردن، دقیقاً همان دمای مورد نیاز در فرآیند تولید است.
مواردی که باید بدانید:
برای نصب این سیستم، نیاز به تنظیمات دقیق نوری و تأمین انرژی مناسب وجود دارد تا پایداری طیف نوری حفظ شود؛ اگر بازتابندهها مناسب نباشند یا ولتاژ تغییر کند، مقدار دمای مورد نظر تغییر خواهد کرد. این فرستنده با شدت بالایی کار میکند؛ بنابراین، باید از عایقبندی حرارتی و سیستمهای کنترلی مناسب استفاده کرد. نیاز به تعویض منظم لامپ در هر ۵۰۰۰ ساعت کاری وجود دارد؛ این کار باید در زمانهای تعمیرات برنامهریزی شده انجام شود. این روش باعث حفظ بهرهوری خط تولید میشود.