جلوگیری از فاجعه ناشی از انفجار لامپها در فرآیند خشک کردن ویفرهای MEMS
اگر تا به حال در محیطهای تولیدی با بار کاری بالا کار کردهاید، میدانید که چه استرسی در کار است. اما هیچ چیز به اندازه انفجار لامپ در حین خشک کردن ویفرهای MEMS، آزاردهنده نیست.
مسئله فقط متوقف شدن فرآیند تولید نیست؛ پس از آن نیز مشکلات زیادی پیش میآید. تکههای کوارتز و رشتههای توانگستن روی ویفرها میافتند؛ این واقعاً یک فاجعه است. ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی کردهایم تا از وقوع چنین اتفاقاتی جلوگیری کنیم.
ساخت لامپهایی که مقاومت بیشتری داشته باشند
بیشتر لامپها به دلیل «نقاط گرم» یا فشارهای ناشی از جای درز، منفجر میشوند. معمولاً این مشکل ناشی از گسترش ناهموار شیشه است؛ شیشه نمیتواند با گرما سازگار شود و در نتیجه میشکند.
برای رفع این مشکل، از کوارتز با خلوص بالا و دیوارههای ضخیم استفاده میکنیم. همچنین، روی محل قرارگیری رشتههای لامپ نیز توجه زیادی میکنیم. با توزیع یکنواخت گرما در سراسر لامپ، شیشه تحت فشار قرار نمیگیرد و عملکرد خوبی خواهد داشت.
جلوگیری از آلودگی
حتی با بهترین ساختار لامپها، ما به یک برنامه رزرویی نیاز داریم.
heaterهای ما را طوری طراحی کردهایم که بتوانند درون غلافهای محافظ کوارتزی قرار بگیرند. این کار مانند یک بیمه است؛ اگر لامپ دچار مشکل شود، غلاف محافظ، تکههای شکسته را قبل از اینکه به ویفرها برسند، جذب میکند.
همچنین، در مورد جنبههای الکتریکی نیز، ما شاهد انفجار لامپها به دلیل اتصالات ضعیف بودهایم. این روش، روشی بسیار بد برای شکستن لامپ است. ما از اتصالات دقیق برای جلوگیری از این مشکلات استفاده میکنیم.
تعادلات واقعی
حقیقت این است که لامپهای پرتو کوتاه با توان بالا، واقعاً خطرناک هستند. آنها گرمای لازم برای خشک کردن سریع ویفرها را فراهم میکنند، اما مقدار زیادی گرما نیز تولید میکنند.
نمیتوانید فقط این لامپها را روی حداکثر توان روشن کنید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش برود. شما به یک سیستم خنککننده نیاز دارید که بتواند این بار را تحمل کند. اگر جریان هوا ضعیف باشد، گرما میتواند درزهای لامپ را از بین ببرد و عمر لامپ را کوتاه کند.
توصیه من این است که دمای بدنه لامپ را به دقت زیر نظر داشته باشید. همچنین، از تیم تعمیراتی خود بخواهید که هر ۵۰۰ ساعت، تنش اتصالات را بررسی کنند. این کار یک دقیقه طول میکشد، اما میتواند شما را از فاجعههای احتمالی نجات دهد.