دیگر انرژی خود را هدر ندهید!
بیایید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها معمولاً کار پیچیدهای است. اگر از لامپهای کوارتز استاندارد استفاده میکنید، در واقع برای انرژیای پول میپردازید که اصلاً به محصول شما نمیرسد. این لامپها انرژی را در تمام جهات تابش میدهند؛ نیمی از این انرژی نیز در بدنه دستگاه هدر میرود. این یک هدررفت انرژی است.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ از بازتابندههای پوشیده شده با طلا برای جذب این انرژیهای اضافی و هدایت آنها به سمت ویفرها استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
شاید بپرسید چرا از آلومینیوم صیقلی استفاده نمیکنیم؛ آلومینیوم برای اشیاءی که قابل مشاهده هستند مناسب است، اما ما در اینجا با تابش مادون قرمز سروکار داریم.
طلا در این کار عملکرد بهتری دارد؛ آن موجهای مادون قرمز را با کارایی بالایی بازتاب میدهد. وقتی از سطح پوشیده شده با طلا استفاده میکنید، تقریباً تمام انرژی لامپ به ویفرها میرسد. این کار باعث افزایش چشمگیر دمای ویفرها میشود، بدون اینکه نیازی به تغییر ولتاژ یا افزایش توان لامپ باشد. این یک روش فیزیکی هوشمندانه است.
مشکلات احتمالی
مشکل اینجاست که تمرکز این مقدار انرژی در فضای کوچک، فشار زیادی بر قطعات دستگاه وارد میکند؛ بدنه لامپ نیز تحت تأثیر این گرما قرار میگیرد.
اگر سیستم خنککننده دستگاه ضعیف باشد، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد؛ بدون جریان هوای کافی، الکترودها سریعتر از حد معمول اکسید شده و از کار میافتند. باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده دستگاه قادر به مقابله با این میزان انرژی باشد.
ما معمولاً از این بازتابندهها همراه با منابع نوری موج کوتاه استفاده میکنیم؛ در نتیجه، ویفرها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسند. این روش بسیار سریع است؛ و این موضوع تأثیر زیادی بر بهرهوری روزانه دستگاه دارد.
نصب آنها
نکته خوب این است که برای استفاده از این سیستم، نیازی نیست کل سیستم را تغییر دهید. این بازتابندهها به راحتی میتوانند جایگزین لامپهای موجود شوند؛ بنابراین نیازی به تغییر سیستم تأمین انرژی یا سیمکشیهای دستگاه نیست. شما فقط باید لامپهای موجود را با این سیستم جایگزین کنید.
در نتیجه، میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر کمتر میشود، اما دمای سطح ویفر دقیقاً همانطور که باید باقی میماند. ساده است!