如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你曾尝试在100级洁净室中使用普通的红外灯，那你肯定知道这有多麻烦。因为大多数这类灯都是用胶水或廉价金属制成的，而这类材料根本无法承受高温。一旦温度升高，这些灯就会开始释放有害气体，或者有碎屑脱落。
在那种一粒灰尘就能毁掉整批晶圆的恶劣环境中，这简直就是一场噩梦。
为了解决这个问题，我们放弃了那些劣质材料，转而使用高纯度的合成石英以及专门的陶瓷端盖。
为什么密封处容易出问题
大多数污染都是从密封处开始的。我们没有使用传统的金属扣件，而是采用了高密度的陶瓷端盖。最棒的是，当这些端盖达到最高温度时，它们不会释放任何气体或颗粒物。
此外，我们还会对石英管进行清洗，以去除其中的金属杂质。这样就可以避免那些由廉价灯具引起的“积尘”现象——因为那些灯具的玻璃表面会逐渐损坏，从而产生大量微小颗粒，进而污染光学元件。
选择合适的材料（以及其局限性）
我们选择了熔融石英作为灯管的外壳，因为它在高温环境下也不会出现破裂的情况。它能够承受剧烈的温度变化而不破裂。而陶瓷端盖则能为电导线提供稳固且不会发生化学反应的固定点。
不过，事实是：陶瓷材料其实很易碎。如果安装人员试图将灯具强行安装在狭小的空间里，或者不小心让端盖撞到钢制框架上，那么灯具就很容易破裂。因此，在安装过程中必须格外小心。只要小心处理，这些灯具就能在数千次使用后依然保持无污染状态。