Một cách tốt hơn để xử lý quy trình rửa wafer trong nhà máy sản xuất bán dẫn
Hãy thừa nhận rằng: giai đoạn rửa wafer trong nhà máy sản xuất bán dẫn là lúc năng lượng bị lãng phí nhiều nhất. Trong nhiều năm qua, chúng ta vẫn sử dụng phương pháp sưởi bằng nước nóng hoặc bộ sưởi đối lưu. Nhưng cách này rất lãng phí năng lượng. Bạn phải chi một khoản tiền khổng lồ để làm nóng không khí và nước, chỉ để chuẩn bị wafer cho công đoạn tiếp theo.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại chống nước. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, những chiếc đèn này chỉ tập trung nhiệt lượng vào vị trí cần thiết – chính là bề mặt wafer.
Xử lý vấn đề ô nhiễm
Môi trường rửa wafer rất khắc nghiệt. Nước và điện không thể tồn tại cùng nhau; nếu có một giọt nước chạm vào các điện cực, đèn sẽ bị hỏng ngay lập tức.
Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng vỏ bọc bằng thạch anh và các bộ phận kín để ngăn không cho hơi ẩm xâm nhập vào. Điều này giúp thiết bị hoạt động hiệu quả hơn. Chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại tia ngắn vì chúng có thể truyền nhiệt sâu vào bề mặt wafer. Điều này giúp wafer khô nhanh hơn, từ đó giúp giảm kích thước của máy móc. Việc giảm số lượng thiết bị cần sử dụng chắc chắn là một lợi ích lớn.
Giảm lượng khí thải carbon và chi phí
Nếu bạn muốn xây dựng một “nhà máy xanh”, bạn cần quan tâm đến mức tiêu thụ năng lượng. Phương pháp sưởi bằng hơi nước truyền thống thật kinh khủng – bạn phải sử dụng những lò hơi lớn, gây ra lượng khí thải carbon lớn.
Việc chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại sẽ giúp giảm chi phí. Bạn có thể kiểm soát mức nhiệt một cách chính xác. Bạn có thể tắt/mở đèn trong vài miligiây. Không còn hiện tượng lãng phí năng lượng khi máy không hoạt động nữa.
Những điều cần lưu ý khi sử dụng đèn hồng ngoại
Dù đèn hồng ngoại rất hiệu quả, nhưng chúng vẫn gây áp lực lên hệ thống điện. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống dây điện có thể chịu được dòng điện cao nhất. Nếu không, bạn sẽ gặp vấn đề về điện áp.
Một mẹo nhỏ: hãy giữ cho các bộ phản chiếu của đèn luôn sạch sẽ. Nếu chất hóa học tích tụ trên bề mặt phản chiếu, hiệu suất của đèn sẽ giảm 15–20%. Khi đó, đèn phải hoạt động với công suất cao hơn, làm giảm tuổi thọ của chúng. Việc vệ sinh đèn định kỳ sẽ giúp kéo dài tuổi thọ của chúng.
Điều tuyệt vời nhất là chúng tôi thiết kế những chiếc đèn này để thay thế cho các bộ sưởi cũ kỹ. Bạn chỉ cần thay thế thiết bị cũ bằng đèn mới, kết nối nó với bộ điều khiển PID, và bạn sẽ thấy mức tiêu thụ năng lượng giảm xuống đáng kể.