Üretim alanında, foto direncin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik bile, ürünlerin boyutlarını bozarak çok sayıda waferin atılmasına neden olabilir. Geleneksel fırınlar, odanın tamamını ısıtır; ancak waferin kendisini değil. Biz ise ısıyı doğru yere, yani waferin üzerine yönlendiren bir ısıtma sistemi geliştirdik. Böylece her bir filmin termal özellikleri korunmuş olur.
Teknik açıdan önemli olan noktalar
Geliştirdiğimiz bölgesel kızılötesi modüller, aktif bölgede waferin sıcaklığını ±0,1°C aralığında sabit tutar. Ayrıca, binlerce döngü sonrasında da sıcaklık değerleri ±0,5°C aralığında kalır. Kısa dalga boylu emisörler sayesinde yumuşak ve sert pişirme işlemleri hızlandırılır. Karbon fiber içermeyen tasarım sayesinde de Partikül sayısı düşük tutulur; bu da Class 1–100 ortamlarında kullanım için idealdir. Sistem, 24/7 çalışır ve tahmini termal değişiklikleri telafi ederek çıkış kalitesini 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil tutar.
Bu sistemin litografi hatlarında başarılı olmasının nedeni, bu hassasiyet sayesinde ürünlerin boyutlarının daha iyi kontrol edilebilmesi ve daha az yeniden işleme ihtiyacının olmasıdır. Waferlerin kurutulması ve kenarındaki kirlerin temizlenmesi için ise hedefe yönelik ısıtma işlemi sayesinde çözücülerin buharlaşması hızlanır; böylece verim artar ve enerji tüketimi azalır.
Foto direncin pişirilme süreci her parti için tekrarlanabilir şekilde gerçekleşir; bu da farklı makineler arasındaki değişkenlikleri azaltır. Böylece işlem marjları geri kazanılır ve termal dengesizlikler yüzünden reçeteleri ayarlamak için harcanan zaman ortadan kalkar.
Pratik detaylar
Bölgesel ısıtma sistemi, track veya kaplama/pişirme platformuyla sıkı bir şekilde entegre edilmelidir. Lamba bölgelerinin dönme hareketleriyle senkronize olması gerekmektedir. Modifikasyonlar mümkündür; ancak her bir ekipman için mekanik yapı ve soğutma sistemleri dikkatlice incelenmelidir.
Özellikle parazitelere karşı hassas olan ekipmanların bulunduğu yerlerde temiz oda uyumlu havalandırma ve EMC koruması sağlanmalıdır. Termal profillerin üretim verimliliği üzerindeki etkisi ortadan kalktığında gerçek faydalar görülmeye başlar.