Üretim alanında, prob kartı mikroskopun altında bekliyor ve bir sonraki üretim işleminin başlamasını bekliyor. Eğer wafer’in sıcaklığı bile bir derecenin küçük bir kısmı kadar değişirse, parametrelerdeki değerler aniden değişir ve verimlilik düşmeye başlar. Biz de bu wafer prob ısıtıcısını, probun temas ettiği noktada bu tür değişiklikleri engellemek için geliştirdik.
Test sırasında asıl önemli olan şeyler
Bu cihaz, hızlı tepki verme ve düşük termal atalet özelliklerine sahip olan kısa dalga kızılötesi elemanlar kullanır. Wafer üzerindeki sıcaklık farkları ±0,1°C civarında tutulur ve kontrol döngüsü ısıtıcı gövdesinde değil, iş parçasının bulunduğu yerde olduğu için üretim süreçlerinde tekrarlanabilirlik sağlanır. Bu tasarım, standart prob istasyonlarına uyumlu şekilde çalışır ve sıcak bölge izole edildiğinden, platform hareketleri parçacıkların hareket etmesine neden olmaz. Kapalı malzemeler ve test ortamına girmeyen hava akışı sayesinde bu cihaz Cleanroom Class 1–100 ortamlarında sorunsuzca çalışabilir.
Neden üretimde başarılı oluyor?
Bu prob ısıtıcıları, uluslararası yarı iletken ekipmanlarıyla eşdeğer bir termal modül olarak tasarlanmıştır ve aynı kabul kriterleri doğrultusunda test edilmiştir. Kalifikasyon işlemlerinde 24/7 çalışır ve sıcaklık değişikliklerinden kaynaklanan arızalar olmaz. Fotoresist kontrolü sırasında ise yumuşak ve sert pişirme sıcaklıkları kontrol altında tutulur; böylece termal düzensizliklerden dolayı kritik boyutlar bozulmaz. Böylece daha az tekrar gerekliliği, daha stabil parametreler ve daha düşük enerji tüketimi elde edilir.
Birkaç pratik nota
Montajı oldukça basittir; ancak ısıtıcının, cleanroom’un hava kalitesini korumak ve zamanla kaplamanın bozulmasını engellemek için özel ve filtrelenmiş bir güç kaynağına ihtiyacı vardır. Mekanik arayüzün ve konektör pinlerinin istasyonunuza uyumlu olması gerekmektedir. Doğru şekilde yerleştirildikten sonra, mevcut prosedürlerde herhangi bir değişiklik yapmadan kullanılabilir.