On fab katında, ashing bir seçenek değil—fotoresisti tamamen temizleyen, altındaki filmleri zorlamayan termal bir adımdır. Sıcaklık saparsa veya profil düşerse, kalıntılar oluşur. Hat verimi düşer ve litografi yığını bundan zarar görür.
Kaputun altında önemli olan
Ashing ısıtıcısını kısa dalga kızılötesi etrafında tasarladık; hızlı ve tekrarlanabilir yanıt veren kuvars-halojen emiter dizisi kullanıldı. Pişirme bölgesi boyunca ±0.1°C içinde devre seviyesi uniformite sağlanır ve sıcaklık kontrolü, tüm strip döngüsü boyunca ayar noktasını korur. Sistem, parçacık üretimi sıfır olan Class 1–100 temiz odalarda çalışır ve bu durum yerinde izleme ile doğrulanır. 5.000+ saat boyunca stabil çıkış verir, yoğunluk sapması %5’in altındadır.
Neden bu akışa uyar
Fotoresist işlemlerinde—soft bake, pozlama, geliştirme, hard bake ve ardından ashing—tekrarlanabilir sıcaklık termal bütçedir. IR ısısı hızlı yükselir, hızlı soğur ve her çalıştırmada profili aynı tutar. Daha az tekrar iş, daha az hurda ve güvenilir çevrim süresi sağlar. Enerji kullanımı, emiter gücü gerçek yüke göre ayarlandığı için en kötü duruma göre olmaz. Modül, standart mekanik ve elektriksel arayüzlerle mevcut hatlara ve strip ekipmanlarına kolayca entegre edilir.
Pratik detaylar
Kızılötesi ashing size temiz ve kontrollü ısı sağlar, ancak optikler ve emiter pencere sıkı temiz oda prosedürleri gerektirir. Kurulumdan hemen sonra hızlı hizalama ve termal haritalama planlayın, ayrıca parçacık sayısını kontrol altında tutmak için üç ayda bir pencere muayenelerini takvime ekleyin. Bu disiplinle proses spesifikasyonlarda kalır ve hat sürekli çalışır.