Yarı İletkenlerin Yıkanma Süreçlerini Daha İyi Yönetmenin Yolu
Dürüst olalım: Yarı iletken üretim tesislerindeki yıkama aşamasında enerji genellikle boşa harcanıyor. Yıllardır sıcak su kullanarak veya konveksiyon ısıtıcılarıyla bu işlem yapılıyor; ancak bunlar son derece verimsiz yöntemlerdir. Aslında, waferleri hazır hale getirmek için büyük miktarda enerji harcanıyor.
İşte bu yüzden su geçirmez kızılötesi (IR) lambalar kullanmaya başladık. Bu lambalar, tüm odayı ısıtmak yerine, ısınıyı tam da ihtiyaç duyulan yere, yani waferin yüzeyine yönlendiriyor.
Karmaşayla Başa Çıkma
Yıkama ortamları oldukça zorlu koşullara sahiptir. Su ve elektrik bir arada bulunamaz; eğer tek bir damla su elektrotlara temas ederse, lamba zarar görür. Bunu engellemek için özel kuvars kaplamalar ve mühürlü uç kapaklar kullanıyoruz. Böylece nem dışarıda kalır ve ekipmanlar daha uzun süre çalışabilir. Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar, ısıyı malzemenin derinliklerine kadar ileterek waferin daha hızlı kurumasını sağlar. Bu sayede makinelerin boyutlarını küçültebilirsiniz. Daha az ekipmanın yer kaplaması her zaman avantajdır.
Karbon Emisyonlarını ve Maliyetleri Azaltma
“Yeşil Fabrika” hedefine ulaşmak istiyorsanız, ısı üretimi konusuna dikkat etmelisiniz. Eski usul buharlı ısıtma sistemleri oldukça verimsizdir; sürekli çalışan devasa kazanlar, büyük miktarda karbon emisyonuna neden olur. Elektrikli kızılötesi ısıtıcılar ise bu durumu değiştirir. Isıyı istediğiniz an açıp kapatabilirsiniz. Artık hat durduğunda enerji boşa harcanmaz.
Gerçek Dünyadaki Tercihler
Elbette her şey mükemmel değil. Yüksek güçlü lambalar etkili olsa da, elektrik panellerine baskı yaratır. Kabloların maksimum akıma dayanabileceğinden emin olmalısınız; aksi takdirde voltaj düşüşleri yaşanır.
Bir ipucu: Yansıtıcıları temiz tutun. Eğer aynalar üzerinde kimyasallar birikirse, verimlilik %15-20 oranında düşer. Bu durumda lambalar daha çok çalışmak zorunda kalır ve ömrü kısalar. Biraz temizlik çok fark yaratır.
En iyi yanı ise, bunların eski, verimsiz ısıtma sistemlerinin yerine kullanılabilmesidir. Sadece ekipmanları değiştirmeniz yeterlidir; ardından PID kontrol cihazına bağlayın ve her wafer başına harcanan enerjinin azaldığını göreceksiniz.