Как предотвратить появление частиц пыли: как мы обеспечиваем правильное высыхание кристаллических пластин
В чистой комнате класса 100 не существует понятия «немного пыли». Одна-единственная частица пыли или небольшое количество газов, выделяемых дешевым нагревательным элементом, могут превратить всю партию кремниевых пластин в бесполезный мусор. Это настоящий кошмар.
Поэтому мы не используем обычные материалы. Для производства ламп для инфракрасного обжига мы используем синтетический кварц высокой чистоты.
Секрет заключается в кремнии.
Большинство ламп используют обычный кварц, но мы удаляем из него все примеси, чтобы предотвратить проникновение металлических ионов. Если вы когда-либо видели, как лампа начинает «дымить» во время работы при высоких температурах, вы понимаете, чего мы хотим избежать. Мы плотно запечатываем кварцевые трубки, чтобы галогеновый газ не проникал в рабочее пространство. Таким образом, условия в помещении остаются чистыми.
Еще один важный фактор — это рефлектор. Лампа бесполезна, если рефлектор имеет низкое качество. Мы разрабатываем рефлекторы так, чтобы коротковолновое инфракрасное излучение направлялось именно туда, куда нужно — прямо на кристаллическую пластину. Благодаря такой концентрации энергии остальная часть оборудования не перегревается. Вакуумные уплотнения и крепления остаются прохладными, что позволяет увеличить мощность лампы без риска повреждения оборудования.
Но есть один важный момент:
Эти лампы работают при очень высоких температурах. Они обеспечивают быстрое нагревание, но если не соблюдать правила эксплуатации, они могут повредить систему охлаждения. Если поток воздуха недостаточен, нити лампы сгорят слишком быстро. Следуйте строгим правилам эксплуатации — это поможет сохранить ваш бюджет.
Мы производим эти лампы как простые замены для вашего полупроводникового оборудования. Никаких сложностей — только качественные материалы, которые помогают сохранять кристаллические пластины в идеальном состоянии.