Лучший способ обработки пластин в процессе очистки в полупроводниковых заводах
Давайте будем честны: на этапе очистки в производственных помещениях для полупроводников тратится огромное количество энергии. На протяжении многих лет мы использовали горячие водные бассейны или конвекционные нагреватели, но это крайне неэффективно. Фактически, мы тратим целое состояние на нагрев воздуха и воды лишь для того, чтобы подготовить пластину к дальнейшей обработке.
Поэтому мы начали использовать водонепроницаемые инфракрасные лампы. Вместо нагрева всего помещения эти лампы направляют тепло точно туда, где это необходимо — прямо на поверхность пластины.
Проблемы, связанные с процессом очистки
Условия в помещениях для очистки крайне сложные. Вода и электричество несовместимы; если хотя бы одна капля попадает на электроды, лампа выходит из строя. Чтобы этого избежать, мы используем специальные кварцевые корпуса и герметичные защитные элементы. Это предотвращает проникновение влаги во внутреннюю часть лампы, что увеличивает её срок службы. Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением, поскольку оно позволяет эффективно нагревать поверхность пластины. Это ускоряет процесс сушки, что позволяет уменьшить размеры оборудования. Меньше оборудования – значит меньше места, занимаемого ими.
Сокращение выбросов углерода и затрат
Если вы хотите создать «зеленый завод», необходимо учитывать факторы, связанные с потреблением энергии. Традиционные паровые нагреватели представляют собой настоящую проблему – они требуют постоянной работы огромных котлов, что приводит к значительным выбросам углерода. Использование электрических инфракрасных ламп позволяет контролировать процесс нагрева. Вы можете включать или выключать тепло в течение нескольких миллисекунд. Нет больше необходимости в постоянном нагреве во время пауз в работе оборудования.
Реальные ограничения
Конечно, все не так просто. Лампы с высокой мощностью действительно эффективны, но они создают дополнительную нагрузку на электросеть. Необходимо убедиться, что электропроводка может выдерживать пиковые значения тока. В противном случае может возникнуть снижение напряжения.
Еще один совет: постоянно поддерживайте чистоту отражателей ламп. Если на них накапливаются химические вещества, эффективность ламп снижается на 15–20%. В таком случае лампам приходится работать под большим напряжением, что сокращает их срок службы. Небольшая уборка может значительно улучшить работу ламп.
Самое лучшее заключается в том, что эти лампы можно использовать в качестве замены старых нагревателей. Достаточно просто заменить оборудование, подключить его к контроллеру PID, и вы увидите, что расход киловатт-часов на одну пластину будет снижаться.