Почему мы переходим на использование инфракрасного излучения для обработки безсвинцовых полупроводников
Промышленность стремится к использованию «зеленых» технологий и материалов, не содержащих свинец. На бумаге это звучит замечательно, но на практике это создает определенные сложности при производстве.
Долгое время мы использовали конвекционные печи. Проблема заключается в том, что при таком способе нагревается целый объем воздуха. Это является расточительством энергии, к тому же существует риск возникновения частиц пыли, которые могут попасть прямо на поверхность пластин.
Поэтому мы используем инфракрасное излучение. Вместо нагрева воздуха мы используем электромагнитное излучение, которое направляется непосредственно на поверхность пластины. Нет посредников, нет горячего воздуха — только чистая энергия там, где она нужна.
Необходимость подбора правильного расстояния
При работе с инфракрасным излучением крайне важно выбрать правильное расстояние между лампой и поверхностью пластины. Именно это расстояние позволяет контролировать температуру.
Коротковолновое инфракрасное излучение отлично подходит для быстрой обработки, поскольку оно проникает глубоко в слой фоторезиста или клея. Но нужно быть осторожным: если лампа находится слишком близко, возникают «горячие точки», а края пластины могут повреждаться. Если же лампа слишком далеко, плотность тепла снижается, и время обработки увеличивается.
Мы тратим много времени на настройку параметров, исходя из мощности лампы и температуры, необходимой для обработки пластины. Наша цель — достичь такого состояния, при котором тепло распределяется равномерно по всей поверхности пластины.
Меньше отходов, большая скорость
Использование инфракрасного излучения позволяет избежать использования сложных систем нагрева, требующих больших затрат энергии. Самое прекрасное в этом методе — короткое время разогрева. Лампы достигают рабочей температуры за несколько миллисекунд. Не нужно ждать часами, пока машина прогреется, прежде чем можно начать процедуру обработки.
Недостатки: необходимость контроля за теплом
У этого метода есть свои недостатки. Лампы с высокой интенсивностью излучения выпрямляют огромное количество энергии. Хотя пластина получает все необходимое, корпус лампы и сама машина подвергаются серьезному нагреву.
Нельзя просто помещать такие лампы в обычный корпус и рассчитывать на хороший результат. Если система охлаждения не справляется с задачей, тепло, отражаемое от пластины, может повредить лампы.
Все зависит от правильной системы охлаждения. Если ее сделать правильно, оборудование будет служить долго. Если же игнорировать этот фактор, придется часто заменять дорогие лампы.