Gezoneerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken
Op de productielijn is een verschil van 1°C tijdens het ‘soft bake’-proces voldoende om de kritieke afmetingen van de chips te verstoren en daardoor...
Kosten van infraroodwaferverwarmlamp
Op de productielijn heeft elke wafer een bepaald thermisch budget; dit mag niet worden overschreden. Zelfs een klein verschil van een fractie van een...