Op de productielijn heeft elke wafer een bepaald thermisch budget; dit mag niet worden overschreden. Zelfs een klein verschil van een fractie van een graad kan leiden tot variaties in de dikte van de lijnen op de wafer, tot ongewenste effecten en tot een lagere opbrengst. De prijs van een infraroodverwarmer is niet alleen het bedrag dat u betaalt voor het apparaat zelf, maar ook het bedrag dat u betaalt voor de processtabiliteit.
Wat technisch gezien belangrijk is
Onze infraroodverwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijkmatig blijft, zelfs binnen sub-millimeterbereiken. In de productieprocessen houden we de temperatuursverschillen meestal binnen ±0,1°C. Deze precisie wordt bereikt door het NIR-spectrum af te stemmen op de absorptie van het fotoresistmateriaal. Hierdoor kan de wafer snel en contactloos worden verwarmd, met reproduceerbare snelheden. Het systeem is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1 tot klasse 100. Tijdens het gebruik worden er geen deeltjes geproduceerd. De betrouwbaarheid van het systeem is bewezen: de apparaten kunnen meer dan 5.000 uur draaien zonder dat de prestaties met meer dan 5% dalen. Dit betekent minder ongeplande stilstandtijden en minder vervangingen van de lampen.
Waarom het werkt waar het nodig is
In lithografische processen en coatingsprocessen heeft de temperatuurregeling een grote invloed op de dikte van het fotoresistmateriaal, de hechting en de controle van de resolutie. Een hogere thermische repetitiebeschikbaarheid zorgt voor minder afval, versnelt het proces en vermindert de energieverbruik per wafer, omdat er geen noodzaak is om de wafer langer te verwarmen. De snelle thermische reactie van de lamp zorgt er ook voor dat er minder tijd verloren gaat tussen batches. Hierdoor kan de productiecapaciteit worden verhoogd, zonder dat er extra thermische belasting op de kamer komt.
Dingen om in gedachten te houden
De lamp presteert het beste wanneer deze past bij de spanning, de aansluiting en de geometrie van het apparaat. De installatie vereist nauwkeurige optische alignering en kalibratie van de pyrometer ten opzichte van de verwarmde zone. Als dit niet goed wordt gedaan, zal er een fout in de uniformiteit van de temperatuur ontstaan. Plan een nauwe samenwerking met uw apparatenleverancier om de parameters van het proces af te stemmen en de thermische feedbacklopen goed te laten werken.