Op de productielijn is een verschil van 1°C tijdens het ‘soft bake’-proces voldoende om de kritieke afmetingen van de chips te verstoren en daardoor veel chips te verspillen. Conventionele ovens verwarmen de kamer, niet de chip zelf. Wij hebben een gecentreerd verwarmingssysteem ontwikkeld, zodat de warmte precies op de chip terechtkomt – zonder dat dit invloed heeft op de thermische eigenschappen van de film.
Wat technisch gezien belangrijk is: Onze gecentreerde infrarode modules zorgen voor een constante temperatuur op het niveau van de chip, binnen een marge van ±0,1°C in de actieve zone. De herhaalbaarheid van de temperatuur blijft bovendien binnen ±0,5°C, zelfs na duizenden cycli. Kortegolfemitters zorgen ervoor dat de chip snel wordt verhit tot de gewenste temperatuur. Het ontwerp zonder koolstofvezels zorgt er bovendien voor dat er minder deeltjes worden gegenereerd, wat belangrijk is in omgevingen met een klasse van 1–100. Het systeem kan 24/7 draaien, dankzij predictieve compensatie voor thermische afwijkingen. Hierdoor blijft de output stabiel, zelfs na meer dan 5.000 uur gebruik.
Dit werkt goed in lithografielijnen omdat deze precisie zorgt voor betere controle over de afmetingen van de chips en minder herwerkingswerkzaamheden. Voor het drogen van de chips en het verwijderen van oneffenheden aan de randen zorgt het gecentreerde verwarmingssysteem ervoor dat de oplosmiddelen sneller verdampen, zonder dat het substraat beschadigt wordt. Hierdoor neemt de productiecapaciteit toe en neemt de energieverbruik af.
De temperaturen tijdens het ‘soft bake’-proces zijn steeds consistent, ongeacht welke lading wordt verwerkt. Dit vermindert de variabiliteit tussen verschillende machines. Je hebt weer meer controle over het proces, en je hoeft geen tijd meer te besteden aan het aanpassen van de parameters om thermische afwijkingen te compenseren.
De praktische aspecten: Het gecentreerde verwarmingssysteem moet nauw geïntegreerd zijn met de apparatuur die wordt gebruikt voor het bedrukken of bakken van de chips. De lampzones moeten perfect synchroon gaan met de beweging van de apparatuur. Het is mogelijk om het systeem later toe te passen, maar je moet eerst controleren of de mechanische onderdelen en de koelingsinstallaties geschikt zijn voor het specifieke apparaat.
Verwacht ook dat er schone lucht nodig is en dat er EMC-bescherming moet worden geboden, vooral in de buurt van apparaten die gevoelig zijn voor storingen. De voordelen zijn duidelijk zodra de temperatuur niet langer een onbekende variabele is in het productieproces.