Op de productiehal ligt de probekaart onder de microscoop, klaar om met het volgende batch te werken. Als de temperatuur van de wafer zelfs maar een fractie van een graad verschuift, sluit het parameterbereik zich meteen en neemt de kwaliteit van de producten af. We hebben deze heater ontworpen om deze temperatuurschommelingen direct bij hun oorsprong tegen te gaan – precies op de plek waar de sonde de wafer raakt.
Wat er echt toe doet tijdens het testen
De unit maakt gebruik van kortegolf-infraroodonderdelen die warmte overdragen via een kwartsleidingspad. Hierdoor kan er snel worden gereageerd en blijft de thermische inertie laag. Op het niveau van de wafer blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid tussen verschillende tests blijft hoog, omdat de controlecyclus zich bevindt op de werkstukken zelf, en niet op de heater. Het apparaat past gemakkelijk in standaard probestations. De hete zone is geïsoleerd, zodat bewegingen van het apparaat geen stofdeeltjes veroorzaken. Het apparaat kan worden gebruikt in cleanrooms van klasse 1–100, dankzij gesloten materialen en een goede luchtcirculatie die de testomgeving schoon houdt.
Waarom het werkt in de productie
Deze heater is ontworpen als een equivalent van internationale halfgeleiderapparaten. Hij voldoet aan dezelfde specificaties. In proefomgevingen werkt de heater 24/7, zonder onverwachte stilstand door temperatuurschommelingen. Tijdens het testen van fotoresisten wordt de temperatuur nauwkeurig geregeld, zodat er geen problemen ontstaan door thermische oneffenheden. Dit resulteert in minder herhalingsproeven, stabiele parameters en minder energieverbruik, omdat de ciclen korter duren.
Enkele praktische tips
De installatie is eenvoudig. Echter, de heater heeft een speciale, gefilterde stroomvoorziening nodig, zodat de luchtkwaliteit in de cleanroom op peil blijft en de coating niet beschadigt wordt. Het is belangrijk dat de mechanische interfaces en connectoren goed passen op het station, zodat het apparaat direct kan worden gebruikt. Eenmaal geïnstalleerd kan het apparaat rechtstreeks worden gebruikt, zonder dat de processen hoeven te worden aangepast.