Op de lithografielijn zorgt een temperatuurafwijking tijdens de PEB-stap voor snelle afwijkingen in de vorm van CD-waarden en drift in de afmetingen van het product. Een niet-uniforme temperatuur van 1°C over het oppervlak van de wafer is al voldoende om de profilering van de fotorezyst te verstoren, waardoor er uren aan werk verloren gaan. We hebben onze PEB-verwarmers zo ontworpen dat de temperatuur binnen de gewenste grenzen blijft, batch na batch.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We maken gebruik van kortegolflengte-infraroodhalogeenelementen achter een kwartsraam, zodat er snel en rechtstreeks wordt verhit. De temperatuurovereenstemming over het oppervlak van de wafer blijft op ±0,1°C, en de herhaalbaarheid ligt op milliseconden niveau. Hierdoor blijft de thermische situatie hetzelfde, zowel in batch 1 als in batch 1000. Het apparaat is geschikt voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1–100, met materialen die weinig gassen uitstoten en een pad waarbij de concentratie aan deeltjes goed wordt gecontroleerd. Er worden geen deeltjes gegenereerd tijdens het verhitten – dit wordt gecontroleerd door middel van continu Monitoring van deeltjes direct bij de invoer van het apparaat.
Waarom dit belangrijk is in de fotorezystverwerking
De PEB-stap vindt plaats tussen de blootstelling aan licht en de verwerking van de fotorezyst. Hier wordt de chemische versterking afgerond en wordt de dikte van de lijnen bepaald. Onze verwarmer zorgt ervoor dat deze stap stabiel blijft, waardoor afwijkingen in de CD-waarden en het nodige herwerk verminderen. Hetzelfde apparaat kan worden gebruikt voor zowel zachte als harde verhittingsprocedures. Hierdoor kan de cyclusduur worden verkort, zonder dat de controle over de profilering verloren gaat. Omdat SWIR de wafer rechtstreeks verwarmt, in plaats van de wanden van de kamer, wordt de energieverbruik verminderd.
Een paar praktische tips
Voor de installatie moet de afmeting van de kamer en de interface met het apparaat goed overeenkomen. Voordat je het apparaat installeert, moet je controleren of de mechanische constructie, koelmiddellijnen en elektrische verbindingen in orde zijn. SWIR zorgt voor een snelle respons, maar je moet wel letten op de optische alignering en de reinheid van het raam, zodat de temperatuurovereenstemming behouden blijft. Plan regelmatig controles van het raam en vervanging van de lampen, zodat de thermische situatie gedurende lange productiesessies stabiel blijft.