Op de productielijn kan één enkele fout al ervoor zorgen dat een hele lading producten onbruikbaar wordt. Traditionele droogmethoden brengen risico’s met zich mee: enerzijds thermische belasting, en anderzijds vervuiling door deeltjes. In de lithografie mag er geen enkele fout optreden: een afwijking van 0,5°C tijdens het verwerken van de fotoresist kan leiden tot fouten in de afmetingen van het product. We hebben daarom de Halogen IR-emitter ontwikkeld om deze variabiliteit uit te sluiten.
Wat technisch gezien belangrijk is
Binnenin het kwartsomhulsel zit een kortgolflamp die direct infraroodlicht uitzendt, met een reactietijd van minder dan een seconde. Hierdoor blijft de temperatuur in het gewenste gebied binnen ±0,1°C. Dankzij de gesloten lusregeling blijven de droogprocedures steeds consistent. Het systeem werkt zonder enige vervuiling in schone ruimtes van klasse 1–100. De thermische standaarden worden behouden, terwijl vocht wordt verwijderd zonder dat dit negatieve gevolgen heeft voor de oppervlakte van de chip.
Waarom het werkt
Na het reinigen van de chip is snel drogen belangrijk, maar tegelijkertijd mag de oppervlakteintegriteit niet worden aangetast. De Halogen IR-lamp verwarmt alleen het gewenste gebied, zodat de kamer koel blijft en de omringende apparatuur geen last heeft van de warmte.
Hierdoor zijn de cyclustijden korter, wordt minder energie verbruikt en blijft de adherentie van de fotoresist behouden, zowel tijdens het zachte als het harde droogproces. De processparameters blijven stabiel, waardoor de opbrengst toeneemt.
Wat je moet weten
Voor de installatie is nauwkeurige optische alignment nodig, evenals een stabiele stroomvoorziening om de spectrale stabiliteit te bewaren. Onjuiste reflectoren of wisselende spanningen kunnen de ingestelde waarden beïnvloeden. De emitter werkt met hoge intensiteit, dus is thermische isolatie en veiligheidsmaatregelen belangrijk. Plan regelmatig het vervangen van de lamp na 5.000 uur gebruik, en doe dit tijdens geplande onderhoudsbeurten. Op deze manier kun je de productiecontinuheid beschermen en de kwaliteit van het product behouden.