Stop met het verspillen van energie
Laten we eerlijk zijn: het opwarmen van wafers is meestal een behoorlijke puinhoop. Als je standaard kwartslampen gebruikt, betaal je eigenlijk voor energie die nooit eens de producten bereikt. Die lampen stralen warmte in alle richtingen uit. De helft van die energie verdwijnt gewoon in het frame van de machine. Dat is zonde.
We hebben een betere manier gevonden. We gebruiken goudcoateerde reflectoren om die verspilde energie op te vangen en deze rechtstreeks terug te sturen naar de wafer.
Waarom goud?
Je vraagt je misschien af waarom we niet gewoon gepolijst aluminium gebruiken. Aluminium is prima voor dingen die je kunt zien, maar hier hebben we te maken met infraroodstraling. Goud is hier veel efficiënter in: het weerkaatst infraroodgolven zeer goed. Met een goudcoateerd oppervlak komt bijna elke watt die de lamp produceert terecht op het doelwit. Hierdoor krijg je een grote toename van de warmtestroom, zonder dat je de spanning of de hoeveelheid wattage hoeft te verhogen. Het is gewoon slimme fysica.
Het nadeel (want er is altijd wel een nadeel)
Het probleem is dat het concentreren van zoveel energie in een kleine ruimte veel druk op de apparatuur uitoefent. De behuizing van de lamp zal de hitte voelen. Als je koelsysteem zwak is, loop je risico’s. Zonder voldoende luchtcirculatie zullen de elektroden sneller oxideren en kapotgaan dan nodig is. Je moet ervoor zorgen dat je koelsysteem kan bijhouden met de intensiteit van de warmtestroom.
We combineren deze reflectoren meestal met kortegolfhalogeenbronnen. Het resultaat? De wafers bereiken hun gewenste temperatuur in slechts seconden. Dat is snel. Heel snel. En dat maakt een groot verschil in de dagelijkse productiecapaciteit.
Hoe het werkt
Het beste is dat je je hele productielijn niet hoeft te veranderen om dit te laten werken. Deze apparaten passen gemakkelijk in de bestaande lampen. We ontwerpen de reflectoren zodat ze passen bij de lampen die je al hebt. Er is dus geen noodzaak om iets aan de stroomvoorziening of de bedrading te doen. Je vervangt gewoon je huidige lampen door dit geconcentreerde systeem.
Je verbruikt minder energie per wafer, maar de oppervlakstemperatuur blijft precies waar het moet zijn. Eenvoudig.