Di bilik pengeluaran, setiap wafer mempunyai had suhu tertentu yang tidak boleh dilanggar. Sebarang perubahan suhu, walaupun sedikit sebanyak, akan menyebabkan perubahan ketebalan garis pada wafer, serta penurunan kualiti produk. Harga lampu pemanas inframerah bukan sekadar kos pembelian sahaja; ia juga merangkumi kos untuk memastikan kestabilan proses pengeluaran.
Apa yang penting dari segi teknikal
Lampu pemanas inframerah kami memastikan keseragaman suhu pada tahap sub-milimeter di seluruh permukaan wafer. Dalam proses pengeringan wafer, variasi suhu biasanya dikawal dalam lingkungan ±0.1°C. Ketepatan ini dicapai dengan menyesuaikan spektrum cahaya inframerah agar sesuai dengan sifat penyerapan bahan fotoresist. Dengan cara ini, pemanasan berlaku dengan cepat dan tanpa geseran, serta dengan kadar peningkatan suhu yang konsisten. Sistem ini direka khusus untuk digunakan di bilik bersih dengan tahap kebersihan dari Kelas 1 hingga Kelas 100. Sistem ini juga tidak menghasilkan sebarang zarah semasa beroperasi. Kestabilannya telah terbukti melalui penggunaan berterusan selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%, yang bermakna kurangnya gangguan operasi dan keperluan untuk menukar lampu lebih kerap.
Mengapa ia berkesan di tempat yang penting
Dalam proses litografi, kawalan suhu sangat penting kerana ia mempengaruhi ketebalan bahan fotoresist, daya lekatnya, serta kawalan ketepatan ukuran wafer. Kestabilan suhu yang tinggi dapat mengurangkan sisa bahan yang tidak digunakan, mempercepat proses pengeluaran, serta mengurangkan penggunaan tenaga. Selain itu, respons termal yang cepat dari lampu ini juga membolehkan masa antara setiap batch pengeluaran menjadi lebih singkat, sehingga meningkatkan kelajuan pengeluaran tanpa menambah beban termal pada bilik pengeluaran.
Perkara yang perlu diperhatikan
Lampu ini akan berfungsi dengan baik apabila voltan, sambungan, dan geometri aperture alat tersebut sesuai. Proses pemasangan memerlukan penyelarasan optik yang tepat serta penyetelan pyrometer agar sesuai dengan zon pemanasan. Jika hal ini tidak dilakukan, akan timbul kesilapan dalam kawalan suhu. Adalah penting untuk merancang masa yang sesuai bersama pembekal peralatan untuk menyesuaikan profil pemanasan dan memastikan sistem berfungsi dengan baik.