첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 구역별 난방 시스템

팹 내에서 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 1°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼가 폐기됩니다. 일반적인 오븐들은 챔버 전체를 가열하지만, 웨이퍼 자체는 가열하지 않습니다. 우리는 열을 웨이퍼에 직접 전달할 수 있는...