MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼 건조 과정에서 발생하는 램프 폭발의 재앙을 막는 방법
고부하 환경에서 작업해본 사람이라면 그 스트레스를 잘 알 것입니다. 하지만 MEMS 웨이퍼를 건조하는 동안 IR 램프가 폭발하는 것만큼 끔찍한 상황은 없습니다.
문제는 단순히 생산라인이 멈추는 것뿐...
공장 건조 공정을 위한 에너지 감사
왜 모든 램프를 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 그것이 귀하의 생산 공정에 어떤 영향을 미치는지)
생산 라인에서는 가열 요소들이 계속해서 열을 받고, 식고, 진동을 겪습니다. 대부분의 사람들은 문제가 생기기 전까지는 이 점을 고려하지 않습니다. 하지만 절연체에 아...
웨이퍼 건조용 할로겐 IR 에미터
생산 현장에서는 단 한 개의 워터마크만으로도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다. 기존의 건조 방식은 열 스트레스와 입자 오염이라는 두 가지 문제를 동시에 해결해야 하는 까다로운 상황에 처해 있습니다. 리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 포토레지스트 처리...