클래스 100 클린룸을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 클린룸에서 일반적인 적외선 램프를 사용해 본 적이 있다면, 그 골칫거리를 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 램프들은 접착제나 저품질 금속으로 만들어져 있어서 열에 견디지 못합니다. 따라서 램프가 뜨거워지자마자 가스가 나오거나 작은 파편들이 떨어져 나옵니다.
먼지 한 알이라도 있으면 웨이퍼 전체가 망가질 수 있는 상황에서 이는 정말 끔찍한 문제입니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 그런 저품질 램프들을 버리고, 고순도의 합성 석영과 특수한 세라믹 커버를 사용했습니다.
왜 밀봉 부위가 문제가 되는가?
대부분의 오염은 밀봉 부위에서 시작됩니다. 우리는 전통적인 금속 접합부 대신 고밀도 세라믹 커버를 사용합니다. 가장 좋은 점은, 최고 온도에 도달해도 어떤 가스나 입자도 방출되지 않는다는 것입니다.
또한 석영관을 깨끗이 닦아서 금속성 불순물을 제거합니다. 이렇게 하면 저품질 램프에서 나타나는 먼지 문제도 해결됩니다.
적절한 재료 선택 (그리고 주의사항)
우리는 온도가 급격히 상승해도 문제가 없는 융합 석영을 선택했습니다. 이 재료는 급격한 전력 변동에도 균열이 생기지 않습니다. 세라믹 커버는 전기 연결 부위를 안정적으로 고정해 줍니다.
하지만 솔직히 말해서, 세라믹은 깨지기 쉬운 재료입니다. 설치 과정에서 램프를 너무 세게 누르거나 세라믹 커버를 강철 프레임에 부딪히면 균열이 생길 수 있습니다. 설치할 때는 반드시 신중해야 합니다.
라인에 설치하는 방법
이러한 발광체는 “오류가 없는” 환경에서 사용되도록 설계되었습니다. 유기 결합제와 낮은 융점의 납을 사용하지 않음으로써, 가열 구역에서 화학적 반응이 일어나지 않습니다.
전선을 연결할 때는 전원 공급이 안정적인지 확인해야 합니다. 너무 높은 전압은 석영과 세라믹 사이의 밀봉 부위에 스트레스를 줄 수 있습니다. 전압을 적절히 조절하고 설치할 때는 반드시 조심해야 합니다. 그렇게 하면 이 램프들은 수천 번의 주기 동안 오염된 입자 없이 작동할 것입니다.