半導体用トロリーでの熱の無駄遣いをやめましょう。
クリーンルーム内でウェハーを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が下がってしまうと、生産効率が低下してしまいます。それだけです。
一般的なヒーターは効率が低いです。熱が360度全方向に放出されてしまいます。問題は、そのエネルギーの半分がトロリーのフレームに消えてしまうことです。これは明らかなエネルギーの無駄遣いです。
だからこそ、私たちは金を使うのです。
反射板に薄い金の層を塗ることで、熱の伝わり方を変えます。金は赤外線を効果的に反射する特性を持っています。そのため、熱がフレームに吸収されて金属が温められる代わりに、金の層がその赤外線をウェハーの方へ反射します。
これにより、散乱していた熱が集中したビームに変わります。熱は必要な場所に正確に送られます。
最も良い点は、エネルギーを集中させることができるため、望みの温度を得るために高出力のヒーターを使う必要がないということです。単により多くのエネルギーを使うのではなく、既存のエネルギーを効率的に利用できるのです。また、HVACシステムにとっても好都合で、クリーンルーム内の過剰な熱負荷を軽減できます。
ただし、高密度の赤外線発信器は非常に高温になります。もしトロリーに適切な断熱処理や熱遮断機能がなければ、その熱がフレームに伝わってしまいます。材料選びに注意しなければ、フレームが変形してしまう可能性もあります。つまり、発信器の出力とトロリーの構造との間のバランスを見つけることが重要です。
そして、この装置の取り付けについてですが、私たちはそれを簡単に交換できるように設計しました。ぴったりと隙間に収まります。
ただ一つ注意点があります。必ず清潔に保ってください。金は繊細です。化学物質の蒸気が反射板に付着すると、反射率が低下してしまいます。そうなると、ヒーターはより多くの労力を使って温度を維持しなければならず、結果的にランプの寿命が短くなってしまいます。清潔に保てば、長期間使用できます。