در خط تولید، کارت پروب در زیر میکروسکوپ قرار دارد و در انتظار اجرای فرآیند بررسی روی نمونههای بعدی است. اگر دمای ویفر حتی کمی تغییر کند، پارامترهای مربوطه دچار تغییر خواهند شد و کیفیت محصول کاهش خواهد یافت. ما این هیتر را طوری طراحی کردهایم که این تغییرات دمایی را در همان نقطهای که پروب با ویفر تماس دارد، متوقف کند.
چه چیزی واقعاً اهمیت دارد؟
این دستگاه از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج برای ایجاد گرما استفاده میکند؛ این سیستم برای پاسخ سریع و کاهش انرژی مصرفی طراحی شده است. در سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز به خوبی حفظ میشود، زیرا سیستم کنترل در خود قطعه کار انجام میشود، نه در بدنه هیتر. این دستگاه میتواند در استانداردترین ایستگاههای بررسی نیز استفاده شود؛ همچنین، منطقه گرم نیز از تأثیرات حرکت قطعات جلوگیری میکند. این دستگاه در محیطهای پاکسازیشده کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز قابل استفاده است، زیرا از مواد ضدآب و جریان هوای مناسب برای جلوگیری از ورود ذرات به محیط آزمایش استفاده شده است.
چرا این دستگاه در فرآیند تولید مؤثر است؟
این هیتر به عنوان یک ماژول حرارتی معادل تجهیزات بینالمللی نیمههادی طراحی شده است؛ همچنین، این دستگاه بر اساس همان استانداردهای کیفیتی سنجیده شده است. در شرایط آزمایشی، این دستگاه ۲۴/۷ کار میکند و هیچ توقف غیرمنتظرهای به دلیل تغییرات دما رخ نمیدهد. هنگام بررسی فوتورزیست، این دستگاه دمای لازم برای پختن ویفر را با دقت کنترل میکند؛ بنابراین کنترل ابعاد مهم ویفر نیز تحت تأثیر عدم یکنواختی دما قرار نمیگیرد. نتیجه این کار، کاهش تعداد تلاشهای لازم برای بررسی، پایداری پارامترها و کاهش مصرف انرژی است.
نکات عملی:
نصب این دستگاه ساده است؛ اما برای حفظ کیفیت هوای محیط پاکسازیشده و جلوگیری از فرسودگی لایههای روی ویفر، این دستگاه نیاز به منبع تغذیه جداگانه و فیلترشده دارد. همچنین، هماهنگ کردن رابط مکانیکی و پینهای اتصال با دستگاه مورد استفاده، برای استفاده آسان ضروری است. پس از هماهنگسازی، این دستگاه میتواند به عنوان جایگزین مناسبی برای دستگاههای قدیمی استفاده شود؛ بدون نیاز به تغییر روشهای فرآیندی.